Barco PECVD de grafito de alta pureza para panel solar
Descrición
1). Adoptado para eliminar a tecnoloxía "lentes de cor", para asegurarse de que non hai "lentes de cor" durante o proceso a longo prazo.
2). Feito co material de grafito importado SGL con alta pureza, baixo contido de impurezas e alta resistencia.
3). Usando o 99,9% de cerámica para o conxunto de cerámica con un forte rendemento resistente á corrosión e a proba de golpes.
4). Usando o equipo de procesamento de precisión para garantir a precisión de cada peza.
Especificación
Elemento | Tipo | Portador de obleas de número |
Barco de grafito PECVD - Serie 156 | 156-13 barco de grafito | 144 |
Barco de grafito 156-19 | 216 | |
Barco de grafito 156-21 | 240 | |
Barco de grafito 156-23 | 308 | |
Barco de grafito PECVD - Serie 125 | Barco de grafito 125-15 | 196 |
Barco de grafito 125-19 | 252 | |
Barco de grafito 125-21 | 280 |
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