O AvanzadoPala Cantilever SiCfor Wafer Processing creado por vet-china ofrece unha excelente solución para a fabricación de semicondutores. Esta pá en voladizo está feita de material SiC (carburo de silicio), e a súa alta dureza e resistencia á calor permítelle manter un excelente rendemento en ambientes de alta temperatura e corrosivos. O deseño do Cantilever Paddle permite que a oblea se apoie de forma fiable durante o procesamento, reducindo o risco de fragmentación e danos.
Pala Cantilever SiCé un compoñente especializado usado en equipos de fabricación de semicondutores, como fornos de oxidación, fornos de difusión e fornos de recocido, o uso principal é para a carga e descarga de obleas, soporta e transporta obleas durante procesos a alta temperatura.
Estruturas comúnsdeSiCcantipalancapaddle: unha estrutura en voladizo, fixa nun extremo e libre no outro, adoita ter un deseño plano e parecido a unha paleta.
VET Energy utiliza materiais de carburo de silicio recristalizados de alta pureza para garantir a calidade.
| Propiedades físicas do carburo de silicio recristalizado | |
| Propiedade | Valor típico |
| Temperatura de traballo (°C) | 1600 °C (con osíxeno), 1700 °C (ambiente redutor) |
| Contido de SiC | > 99,96 % |
| Contido Si gratuíto | < 0,1 % |
| Densidade aparente | 2,60-2,70 g/cm3 |
| Porosidade aparente | < 16 % |
| Resistencia a compresión | > 600MPa |
| Resistencia á flexión en frío | 80-90 MPa (20 °C) |
| Resistencia á flexión en quente | 90-100 MPa (1400 °C) |
| Expansión térmica @1500°C | 4,70 10-6/°C |
| Condutividade térmica @1200°C | 23W/m•K |
| Módulo elástico | 240 GPa |
| Resistencia ao choque térmico | Moi bo |
As vantaxes da paleta en voladizo avanzada de SiC de VET Energy para o procesamento de obleas son:
-Estabilidade á alta temperatura: utilizable en ambientes superiores a 1600 °C;
- Baixo coeficiente de expansión térmica: mantén a estabilidade dimensional, reducindo o risco de deformación da oblea;
-Alta pureza: menor risco de contaminación por metais;
-Inercia química: resistente á corrosión, apta para varios ambientes de gas;
-Alta resistencia e dureza: resistente ao desgaste, longa vida útil;
-Boa condutividade térmica: axuda ao quecemento uniforme da oblea.
-
Oblea SiC tipo N de 6 polgadas
-
Revestimento de carburo de tantalio: resistente ao desgaste, alto...
-
Pila de combustible de hidrógeno de 24 V Pemfc Pila de 1000 W Hidrog...
-
Ferramenta eléctrica de subministración de enerxía de hidróxeno 220W Celda de combustible...
-
Dron de pila de combustible de hidróxeno 2000w Pemfc Stack 25v...
-
Composites C/C de fricción de alta resistencia personalizados (CFC)