GaN Epitaxy stèidhichte air silicon

Tuairisgeul toraidh

Bidh a ’chompanaidh againn a’ toirt seachad seirbheisean pròiseas còmhdach SiC le modh CVD air uachdar grafait, ceirmeag agus stuthan eile, gus am bi gasaichean sònraichte anns a bheil gualain agus silicon ag ath-fhreagairt aig teòthachd àrd gus moileciuilean SiC fìor-ghlan fhaighinn, moileciuilean air an tasgadh air uachdar nan stuthan còmhdaichte, a’ cruthachadh còmhdach dìon SIC.

Prìomh fheartan:

1. Àrd teòthachd oxidation an aghaidh:

tha an aghaidh oxidation fhathast fìor mhath nuair a tha an teòthachd cho àrd ri 1600 C.

2. Glanachd àrd: air a dhèanamh le tasgadh bhalbhaichean ceimigeach fo chumhachan clorination àrd teòthachd.

3. Frith-aghaidh bleith: cruas àrd, uachdar teann, mìrean mìn.

4. Frith-chreimeadh: searbhag, alkali, salann agus ath-bheachdan organach.

Prìomh Shònrachaidhean de CVD-SIC Coating