PECVD a’ luchdachadh treidhe tasgadh grafait treidhe

Tuairisgeul goirid:

Tha treidhe luchdachadh PECVD VET Energy air a dhealbhadh gus taic thèarainte agus eadhon a thoirt do wafers aig àm tasgadh, a’ leasachadh cunbhalachd agus càileachd a’ phròiseas tasgaidh. Leis an neart teas sàr-mhath aige, bidh an Graphite Tray a ’cuideachadh le bhith a’ cumail suas àrainneachd fo smachd taobh a-staigh seòmraichean PECVD, a ’lughdachadh cunnart truailleadh agus a’ dèanamh cinnteach à èifeachdas pròiseas àrd.

Cuir post-d thugainn Luchdaich sìos mar PDF

Mion-fhiosrachadh toraidh

Bathar Tags

Tha treidhe luchdachadh VET Energy PECVD na inneal-giùlain mionaideach a chaidh a dhealbhadh airson pròiseas PECVD (tasgadh bhalbhaichean ceimigeach leasaichte plasma). Tha an treidhe grafait tasgaidh àrd-inbhe seo air a dhèanamh de stuth grafait àrd-ghlan, àrd-dùmhlachd. Tha an aghaidh teòthachd àrd sàr-mhath aige, an aghaidh creimeadh, seasmhachd meudachd agus feartan eile. Faodaidh e àrd-ùrlar giùlain seasmhach a thoirt seachad airson pròiseas PECVD agus dèanamh cinnteach à èideadh agus rèidh tasgadh film.

Tha treallaich luchdachadh VET Energy PECVD air an cleachdadh gu farsaing ann an semiconductor, photovoltaic, LED agus raointean eile. Mar eisimpleir:

▪ Semiconductor: pròiseas PECVD airson stuthan leth-chonnsair leithid wafers sileaconach agus wafers epitaxial.

▪ Photovoltaic: pròiseas PECVD airson filmichean tana cealla grèine.

▪ LED: PECVD pròiseas airson LED chips.

Buannachdan toraidh

▪Leasaich càileachd film:Dèan cinnteach à tasgadh film èideadh agus leasaich càileachd film.

▪Leudaich beatha uidheamachd:Sàr-aghaidh creimeadh, leudaich beatha seirbheis uidheamachd PECVD.

▪Lùghdaich cosgaisean toraidh:Faodaidh treallaich grafait àrd-inbhe ìre sgrap a lughdachadh agus cosgaisean cinneasachaidh a lughdachadh.

Stuth graphite bho SGL:

Paramadair àbhaisteach: R6510
Clàr-innse	Inbhe deuchainn	Luach	Aonad
Meud sìol cuibheasach	ISO 13320	10	μm
Meud dùmhlachd	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Porosity fosgailte	DIN 66133	10	%
Meud pore meadhanach	DIN 66133	1.8	μm
Permeability	DIN 51935	0.06	cm²/s
Cruas Rockwell HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Frith-aghaidh dealain sònraichte	DIN IEC 60413/402	13	mi
Neart sùbailteach	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Neart teannachaidh	DIN 51910	130	MPa
Modal Young	DIN 51915	11.5×10³	MPa
Leudachadh teirmeach (20-200 ℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
giùlan teirmeach (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Tha e air a dhealbhadh gu sònraichte airson saothrachadh cealla grèine àrd-èifeachdais, a’ toirt taic do ghiollachd wafer mòr-mheud G12. Bidh dealbhadh luchd-giùlain as fheàrr a’ meudachadh gu mòr trochur, a’ comasachadh ìrean toraidh nas àirde agus cosgaisean toraidh nas ìsle.

Nì	Seòrsa	Neach-giùlan wafer àireamh
Bàta Grephite PEVCD - An t-sreath 156	156-13 bàta grephite	144
	156-19 bàta grephite	216
	156-21 bàta grephite	240
	Bàta grafait 156-23	308
Bàta Grephite PEVCD - An t-sreath 125	125-15 bàta grephite	196
	125-19 bàta grephite	252
	125-21 grphite bàta	280