Neach-gleidhidh Wafer Substrate Graphite airson PECVD

Neach-gleidhidh Wafer Substrate Graphite airson Ìomhaigh Sònraichte PECVD

Tuairisgeul goirid:

Tha Neach-gleidhidh Substrate Graphite VET Energy air innleachadh gus co-thaobhadh wafer a chumail suas agus seasmhachd tron phròiseas PECVD, a’ casg truailleadh agus a ’lughdachadh cunnart milleadh. Tha an Graphite Wafer Holder a’ toirt seachad àrd-ùrlar tèarainte, cothromach, a’ dèanamh cinnteach gu bheil wafers fosgailte gu cothromach don phlasma airson tasgadh cunbhalach agus àrd-inbhe. Leis an giùlan teirmeach àrd agus an neart sònraichte aige, bidh an neach-gleidhidh seo a’ cuideachadh le bhith ag adhartachadh èifeachdas pròiseas iomlan agus coileanadh toraidh.

Cuir post-d thugainn Luchdaich sìos mar PDF

Mion-fhiosrachadh toraidh

Bathar Tags

Tha VET Energy Graphite Substrate Wafer Holder na neach-giùlain mionaideach a chaidh a dhealbhadh airson pròiseas PECVD (Tasgaidh Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition). Tha an neach-gleidhidh substrate Graphite àrd-inbhe seo air a dhèanamh de stuth grafait àrd-ghlan, àrd-dùmhlachd, le sàr-aghaidh teòthachd àrd, strì an aghaidh creimeadh, seasmhachd meudachd agus feartan eile. Faodaidh e àrd-ùrlar taic seasmhach a thoirt seachad airson pròiseas PECVD agus dèanamh cinnteach à èideadh agus rèidh tasgadh film.

Tha na feartan a leanas aig clàr taic grafait pròiseas VET Energy PECVD:

▪Glanachd àrd:susbaint neo-chunbhalachd gu math ìosal, seachain truailleadh film, dèan cinnteach à càileachd film.

▪Dùmhlachd àrd:faodaidh dùmhlachd àrd, neart meacanaigeach àrd, seasamh ri teòthachd àrd agus àrainneachd PECVD le cuideam àrd.

▪Seasmhachd meud math:atharrachadh beag meud aig teòthachd àrd, a 'dèanamh cinnteach à seasmhachd pròiseas.

▪Seòladh teirmeach sàr-mhath:gluasad teas gu h-èifeachdach gus casg a chuir air wafer overheating.

▪Frith-aghaidh creimeadh làidir:faodaidh iad seasamh an aghaidh bleith le diofar ghasaichean creimneach agus plasma.

▪Seirbheis gnàthaichte:faodar clàran taic grafait de dhiofar mheudan agus chumaidhean a ghnàthachadh a rèir feumalachdan luchd-cleachdaidh.

Buannachdan toraidh

▪Leasaich càileachd film:Dèan cinnteach à tasgadh film èideadh agus leasaich càileachd film.

▪Leudaich beatha uidheamachd:Sàr-aghaidh creimeadh, leudaich beatha seirbheis uidheamachd PECVD.

▪Lùghdaich cosgaisean toraidh:Faodaidh treallaich grafait àrd-inbhe ìre sgrap a lughdachadh agus cosgaisean cinneasachaidh a lughdachadh.

Stuth graphite bho SGL:

Paramadair àbhaisteach: R6510
Clàr-innse	Inbhe deuchainn	Luach	Aonad
Meud sìol cuibheasach	ISO 13320	10	μm
Meud dùmhlachd	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Porosity fosgailte	DIN 66133	10	%
Meud pore meadhanach	DIN 66133	1.8	μm
Permeability	DIN 51935	0.06	cm²/s
Cruas Rockwell HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Frith-aghaidh dealain sònraichte	DIN IEC 60413/402	13	mi
Neart sùbailteach	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Neart teannachaidh	DIN 51910	130	MPa
Modal Young	DIN 51915	11.5×10³	MPa
Leudachadh teirmeach (20-200 ℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
giùlan teirmeach (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Tha e air a dhealbhadh gu sònraichte airson saothrachadh cealla grèine àrd-èifeachdais, a’ toirt taic do ghiollachd wafer mòr-mheud G12. Bidh dealbhadh luchd-giùlain as fheàrr a’ meudachadh gu mòr trochur, a’ comasachadh ìrean toraidh nas àirde agus cosgaisean toraidh nas ìsle.

Nì	Seòrsa	Neach-giùlan wafer àireamh
Bàta Grephite PEVCD - An t-sreath 156	156-13 bàta grephite	144
	156-19 bàta grephite	216
	156-21 bàta grephite	240
	Bàta grafait 156-23	308
Bàta Grephite PEVCD - An t-sreath 125	125-15 bàta grephite	196
	125-19 bàta grephite	252
	125-21 grphite bàta	280