Tha silicon carbide (SiC) na stuth semiconductor coimeasgaichte ùr. Tha beàrn còmhlan mòr aig silicon carbide (timcheall air 3 tursan silicon), neart raon èiginneach àrd (timcheall air 10 tursan silicon), giùlan teirmeach àrd (timcheall air 3 tursan silicon). Tha e na stuth semiconductor cudromach an ath ghinealach. Tha còmhdach SiC air a chleachdadh gu farsaing anns a’ ghnìomhachas semiconductor agus solar photovoltaics. Gu sònraichte, feumaidh na daoine a tha fo amharas ann am fàs epitaxial LEDs agus epitaxy criostail singilte Si còmhdach SiC a chleachdadh. Mar thoradh air an gluasad làidir de LEDs ann an gnìomhachas solais is taisbeanaidh, agus leasachadh làidir a’ ghnìomhachais semiconductor,Bathar còmhdach SiCtha dùilean glè mhath.
FEAR IOMRADH
Purity, SEM Structar, mion-sgrùdadh tiugh decòmhdach SiC
Tha purrachd còmhdach SiC air grafait le bhith a’ cleachdadh CVD cho àrd ri 99.9995%. Tha an structar aige fcc. Tha na filmichean SiC a tha còmhdaichte air grafait (111) air an stiùireadh mar a chithear ann an dàta XRD (Fig.1) a’ nochdadh a chàileachd àrd criostalach. Tha tiugh film SiC gu math èideadh mar a chithear ann am Fig. 2.
Fig. 2: èideadh tiugh de fhilmichean SiC SEM agus XRD de fhilm beta-SiC air grafait
Dàta SEM de fhilm tana CVD SiC, is e meud criostal 2 ~ 1 Opm
Tha structar criostail film CVD SiC na structar ciùbach aghaidh-cridhe, agus tha an stiùireadh fàs film faisg air 100%
Silicon carbide (SiC) còmhdaichteIs e bunait am bunait as fheàrr airson silicon criostail singilte agus GaN epitaxy, a tha na phrìomh phàirt den fhùirneis epitaxy. Tha am bonn na phrìomh ghoireas cinneasachaidh airson silicon monocrystalline airson cuairtean mòra aonaichte. Tha fìor-ghlanachd aige, neart teothachd àrd, strì an aghaidh creimeadh, deagh èadhar teann agus feartan stuthan sàr-mhath eile.
Iarrtas agus cleachdadh toraidh
Còmhdach bonn grafait airson fàs epitaxial silicon criostail singilte Freagarrach airson innealan Aixtron, msaa Tighead còmhdach: 90 ~ 150um Is e trast-thomhas an sgàineadh wafer 55mm.
Ùine puist: Mar-14-2022