Tha bàta wafer grafait VET Energy na inneal caitheamh àrd-inbhe a tha air a dhealbhadh gu sònraichte airson pròiseasan tasgaidh ann an gnìomhachasan semiconductor, photovoltaic agus gnìomhachasan eile. Air a dhèanamh de stuth grafait àrd-ghlan, àrd-dùmhlachd, tha deagh sheasamh an aghaidh teòthachd àrd, strì an aghaidh creimeadh, seasmhachd tomhasan agus feartan eile, agus faodaidh e àrd-ùrlar giùlain seasmhach a thoirt seachad airson a ’phròiseas tasgaidh gus dèanamh cinnteach à èideadh agus rèidh tasgadh film tana .
Tha am bàta grafait PECVD bho VET Energy air a dhèanamh le grafait isostatic àrd-ghlan, le porosity fo 15% agus garbh uachdar Ra≤1.6μm. Tha an seasmhachd meudachd adhartach agus giùlan teirmeach a’ dèanamh cinnteach à tasgadh film èideadh agus èifeachdas cealla nas fheàrr.
Stuth graphite bho SGL:
Paramadair àbhaisteach: R6510 | |||
Clàr-innse | Inbhe deuchainn | Luach | Aonad |
Meud sìol cuibheasach | ISO 13320 | 10 | μm |
Meud dùmhlachd | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | g/cm3 |
Porosity fosgailte | DIN 66133 | 10 | % |
Meud pore meadhanach | DIN 66133 | 1.8 | μm |
Permeability | DIN 51935 | 0.06 | cm²/s |
Cruas Rockwell HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
Frith-aghaidh dealain sònraichte | DIN IEC 60413/402 | 13 | mi |
Neart sùbailteach | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
Neart teannachaidh | DIN 51910 | 130 | MPa |
Modal Young | DIN 51915 | 11.5×10³ | MPa |
Leudachadh teirmeach (20-200 ℃) | DIN 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
giùlan teirmeach (20 ℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
Tha e air a dhealbhadh gu sònraichte airson saothrachadh cealla grèine àrd-èifeachdais, a’ toirt taic do ghiollachd wafer mòr-mheud G12. Bidh dealbhadh luchd-giùlain as fheàrr a’ meudachadh gu mòr trochur, a’ comasachadh ìrean toraidh nas àirde agus cosgaisean toraidh nas ìsle.
Nì | Seòrsa | Neach-giùlan wafer àireamh |
Bàta Grephite PEVCD - An t-sreath 156 | 156-13 bàta grephite | 144 |
156-19 bàta grephite | 216 | |
156-21 bàta grephite | 240 | |
Bàta grafait 156-23 | 308 | |
Bàta Grephite PEVCD - An t-sreath 125 | 125-15 bàta grephite | 196 |
125-19 bàta grephite | 252 | |
125-21 grphite bàta | 280 |