Lùth VETTha giùlan grafait pròiseas PECVD na shàr shàr-chleachdadh a tha air a dhealbhadh airson pròiseas PECVD (tasgadh bhalbhaichean ceimigeach leasaichte plasma). Tha an neach-giùlan grafait seo air a dhèanamh de stuth grafait àrd-ghlan, àrd-dùmhlachd, le neart teothachd àrd sàr-mhath, strì an aghaidh creimeadh, seasmhachd tomhasan agus feartan eile, faodaidh e àrd-ùrlar giùlan seasmhach a thoirt seachad airson pròiseas PECVD, gus dèanamh cinnteach à èideadh agus rèidh film tana tasgadh.
Tha na feartan a leanas aig luchd-giùlan graphite airson pròiseas PECVD:
▪ Glanachd àrd: susbaint neo-chunbhalachd gu math ìosal, a’ seachnadh truailleadh film agus a ’dèanamh cinnteach à càileachd film.
▪ Dùmhlachd àrd: dùmhlachd àrd, neart meacanaigeach àrd, comasach air seasamh ri teòthachd àrd agus bruthadh àrd àrainneachd PECVD.
▪ Seasmhachd meud math: atharrachadh beag meud aig teòthachd àrd, a’ dèanamh cinnteach à seasmhachd pròiseas.
▪ Giùlan teirmeach sàr-mhath: gluais teas gu h-èifeachdach gus casg a chuir air cus teasachadh wafer.
▪ Frith-aghaidh creimeadh làidir: comasach air seasamh an aghaidh bleith le diofar ghasaichean creimneach agus plasma.
▪ Seirbheis gnàthaichte: faodar luchd-giùlan grafait de dhiofar mheudan agus chumaidhean a ghnàthachadh a rèir feumalachdan luchd-cleachdaidh.
Stuth graphite bho SGL:
Paramadair àbhaisteach: R6510 | |||
Clàr-innse | Inbhe deuchainn | Luach | Aonad |
Meud sìol cuibheasach | ISO 13320 | 10 | μm |
Meud dùmhlachd | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | g/cm3 |
Porosity fosgailte | DIN 66133 | 10 | % |
Meud pore meadhanach | DIN 66133 | 1.8 | μm |
Permeability | DIN 51935 | 0.06 | cm²/s |
Cruas Rockwell HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
Frith-aghaidh dealain sònraichte | DIN IEC 60413/402 | 13 | mi |
Neart sùbailteach | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
Neart teannachaidh | DIN 51910 | 130 | MPa |
Modal Young | DIN 51915 | 11.5×10³ | MPa |
Leudachadh teirmeach (20-200 ℃) | DIN 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
giùlan teirmeach (20 ℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
Tha e air a dhealbhadh gu sònraichte airson saothrachadh cealla grèine àrd-èifeachdais, a’ toirt taic do ghiollachd wafer mòr-mheud G12. Bidh dealbhadh luchd-giùlain as fheàrr a’ meudachadh gu mòr trochur, a’ comasachadh ìrean toraidh nas àirde agus cosgaisean toraidh nas ìsle.
Nì | Seòrsa | Neach-giùlan wafer àireamh |
Bàta Grephite PEVCD - An t-sreath 156 | 156-13 bàta grephite | 144 |
156-19 bàta grephite | 216 | |
156-21 bàta grephite | 240 | |
Bàta grafait 156-23 | 308 | |
Bàta Grephite PEVCD - An t-sreath 125 | 125-15 bàta grephite | 196 |
125-19 bàta grephite | 252 | |
125-21 grphite bàta | 280 |