Susceptor baraille epitaxial Epi Graphite

Susceptor baraille epitaxial Epi Graphite

Susceptor baraille epitaxial Epi Graphitena inneal taic is teasachaidh a chaidh a dhealbhadh gu sònraichte a thathas a’ cleachdadh gus substrates semiconductor a chumail agus a theasachadh tro phròiseasan saothrachaidh leithid pròiseasan Tasgaidh no Epitaxy.

Tha an structar aige a’ toirt a-steach mar as trice cumadh siolandair no beagan baraille, tha uachdar a ’nochdadh grunn phòcaidean no àrd-ùrlaran airson a bhith a’ cur nan wafers, faodaidh iad a bhith de dhealbhadh cruaidh no lag, a rèir an dòigh teasachaidh.

Prìomh dhleastanasan neach-gabhail baraille epitaxial:

- Taic substrate: a ’cumail grunn wafers semiconductor gu tèarainte;
-Stòr teas: a ’toirt seachad teòthachd àrd a dh’ fheumar airson fàs tro theasachadh;
-Teòthachd èideadh: a 'dèanamh cinnteach èideadh teasachadh fo-stratan;
-Rotation: mar as trice a ’cuairteachadh rè fàs gus teòthachd agus cuairteachadh gas a leasachadh.

Prionnsabal obrach suidse baraille Epi graphite:
- Anns an reactair epitaxial, tha an suidse baraille air a theasachadh chun teòthachd riatanach (mar as trice 1000 ℃ -1200 ℃ airson silicon epitaxy);
- Bidh an suidse baraille a’ cuairteachadh gus dèanamh cinnteach à cuairteachadh teòthachd èideadh agus sruthadh gas;
- Bidh gasaichean freagairt a ’lobhadh aig teòthachd àrd, a’ cruthachadh sreathan epitaxial air uachdar an t-substrate.

Iarrtasan:
- Air a chleachdadh gu sònraichte airson fàs epitaxial silicon
-Cuideachd iomchaidh airson epitaxy de stuthan semiconductor eile leithid GaAs, InP, msaa.

Bidh VET Energy a’ cleachdadh grafait fìor-ghlan le còmhdach CVD-SiC gus seasmhachd ceimigeach àrdachadh:

Buannachdan VET Energy Epitaxial Epi Graphite Barrel Susceptor:

- Àrd teòthachd seasmhachd;
- deagh èideadh teirmeach;
-Is urrainn dhaibh grunn fho-stratan a phròiseasadh aig an aon àm, ag adhartachadh èifeachdas cinneasachaidh;
- Ceimigeach neo-sheasmhach, a’ cumail suas àrainneachd fàis àrd-ghlan.