Cinntíonn vet-tSín go bhfuil gach CRUAPaddle Láimhseála Wafer Silicon Carbidetá feidhmíocht agus marthanacht den scoth. Úsáideann an paddle láimhseála wafer chomhdhúile sileacain seo próisis déantúsaíochta chun cinn chun a chinntiú go bhfanann a chobhsaíocht struchtúrach agus a fheidhmiúlacht i dtimpeallachtaí ardteochta agus creimeadh ceimiceacha. Soláthraíonn an dearadh nuálaíoch seo tacaíocht den scoth do láimhseáil wafer leathsheoltóra, go háirithe le haghaidh oibríochtaí uathoibrithe ardchruinneas.
SiC Cantilever PaddleIs comhpháirt speisialaithe a úsáidtear i dtrealamh déantúsaíochta leathsheoltóra ar nós foirnéise ocsaídiúcháin, foirnéise idirleathadh, agus foirnéise annealing, is é an príomhúsáid le haghaidh luchtú agus díluchtú wafer, tacaíochtaí agus iompraíonn sliseog le linn próisis ardteochta.
Struchtúir choiteannadeSiCcantieverpcuir: struchtúr cantilever, seasta ag foirceann amháin agus saor ar an taobh eile, go hiondúil tá dearadh cothrom agus paddle-mhaith.
Ag obairprincipledeSiCcantieverpcuir:
Is féidir leis an stuáil cantilever bogadh suas agus síos nó ar ais agus amach laistigh den seomra foirnéise, is féidir é a úsáid chun sliseog a aistriú ó limistéir luchtaithe go limistéir phróiseála, nó amach as limistéir phróiseála, ag tacú le agus ag cobhsú sliseog le linn próiseála ardteochta.
Airíonna fisiceacha Carbide Sileacain Athchriostalaithe | |
Maoin | Luach Tipiciúil |
Teocht oibre (°C) | 1600 ° C (le ocsaigin), 1700 ° C (timpeallacht laghdaithe) |
Ábhar SiC | > 99.96% |
Ábhar Si saor in aisce, | < 0.1% |
Dlús mórchóir | 2.60-2.70 g / cm3 |
porosity dealraitheach | < 16% |
Neart comhbhrúite | > 600 MPa |
Neart lúbthachta fuar | 80-90 MPa (20°C) |
Neart lúbthachta te | 90-100 MPa (1400°C) |
Leathnú teirmeach @ 1500°C | 4. 70 10-6/°C |
Seoltacht theirmeach @ 1200°C | 23 W/m•K |
Modal leaisteacha | 240 GPa |
Friotaíocht turraing teirmeach | Thar a bheith go maith |