Paddle Cantilever Casta SiC le haghaidh Próiseáil Wafer

Paddle Cantilever Casta SiC do Phróiseáil Wafer Íomhá Réadmhaoin

Cur síos gairid:

Úsáideann an Ard-SiC Cantilever Paddle for Wafer Processing a sheol an tréidlia-china ábhair SiC ardteicneolaíochta chun éifeachtacht agus cruinneas próiseála sliseog a fheabhsú. Tá friotaíocht teasa den scoth agus friotaíocht creimeadh ag baint le paddle cantilever Vet-china, rud a chinntíonn feidhmíocht láimhseála sliseog cobhsaí i dtimpeallachtaí crua déantúsaíochta, rud a fhágann gur rogha iontach é chun an táirgeacht a fheabhsú.

Seol ríomhphost chugainn Íoslódáil mar PDF

Sonraí Táirge

Clibeanna Táirge

An tArdSiC Cantilever Paddlele haghaidh Wafer Processing cruthaithe ag tréidlia-tSín réiteach den scoth do mhonarú leathsheoltóra. Tá an paddle cantilever seo déanta as ábhar SiC (chomhdhúile sileacain), agus cuireann a chruas ard agus friotaíocht teasa ar a chumas feidhmíocht den scoth a choinneáil i dtimpeallachtaí ardteochta agus creimneach. Ceadaíonn dearadh an Paddle Cantilever tacaíocht iontaofa a thabhairt don wafer le linn na próiseála, ag laghdú an baol ilroinnte agus damáiste.

SiC Cantilever PaddleIs comhpháirt speisialaithe a úsáidtear i dtrealamh déantúsaíochta leathsheoltóra ar nós foirnéise ocsaídiúcháin, foirnéise idirleathadh, agus foirnéise annealing, is é an príomhúsáid le haghaidh luchtú agus díluchtú wafer, tacaíochtaí agus iompraíonn sliseog le linn próisis ardteochta.

Struchtúir choiteannadeSiCcantieverpcuir: struchtúr cantilever, seasta ag foirceann amháin agus saor ar an taobh eile, go hiondúil tá dearadh cothrom agus paddle-mhaith.

Úsáideann VET Energy ábhair chomhdhúile sileacain athchriostalaithe ardíonachta chun an cháilíocht a ráthú.

Airíonna fisiceacha Carbide Sileacain Athchriostalaithe
Maoin	Luach Tipiciúil
Teocht oibre (°C)	1600 ° C (le ocsaigin), 1700 ° C (timpeallacht laghdaithe)
Ábhar SiC	> 99.96%
Ábhar Si saor in aisce,	< 0.1%
Dlús mórchóir	2.60-2.70 g / cm³
porosity dealraitheach	< 16%
Neart comhbhrúite	> 600MPa
Neart lúbthachta fuar	80-90 MPa (20°C)
Neart lúbthachta te	90-100 MPa (1400°C)
Leathnú teirmeach @ 1500°C	4. 70 10^-6/°C
Seoltacht theirmeach @ 1200°C	23W/m•K
Modal leaisteacha	240 GPa
Friotaíocht turraing teirmeach	Thar a bheith go maith