An tArdSiC Cantilever Paddlele haghaidh Wafer Processing cruthaithe ag tréidlia-tSín soláthraíonn sé réiteach den scoth do mhonarú leathsheoltóra. Tá an paddle cantilever seo déanta as ábhar SiC (chomhdhúile sileacain), agus cuireann a chruas ard agus friotaíocht teasa ar a chumas feidhmíocht den scoth a choinneáil i dtimpeallachtaí ardteochta agus creimneach. Ceadaíonn dearadh an Paddle Cantilever tacaíocht iontaofa a thabhairt don wafer le linn próiseála, ag laghdú an baol ilroinnte agus damáiste.
SiC Cantilever PaddleIs comhpháirt speisialaithe a úsáidtear i ndéantúsaíocht leathsheoltóra trealamh cosúil le foirnéise ocsaídiúcháin, foirnéise idirleathadh, agus foirnéise annealing, is é an príomh-úsáid le haghaidh luchtú agus díluchtú wafer, tacaíochtaí agus sliseog iompar le linn próisis ard-teocht.
Struchtúir choiteannadeSiCcantieverpcuir: struchtúr cantilever, seasta ag foirceann amháin agus saor ar an taobh eile, go hiondúil tá dearadh cothrom agus paddle-mhaith.
Úsáideann VET Energy ábhair chomhdhúile sileacain athchriostalaithe ardíonachta chun an cháilíocht a ráthú.
Airíonna fisiceacha Carbide Sileacain Athchriostalaithe | |
Maoin | Luach Tipiciúil |
Teocht oibre (°C) | 1600 ° C (le ocsaigin), 1700 ° C (timpeallacht laghdaithe) |
Ábhar SiC | > 99.96% |
Ábhar Si saor in aisce, | < 0.1% |
Dlús mórchóir | 2.60-2.70 g / cm3 |
porosity dealraitheach | < 16% |
Neart comhbhrúite | > 600MPa |
Neart lúbthachta fuar | 80-90 MPa (20°C) |
Neart lúbthachta te | 90-100 MPa (1400°C) |
Leathnú teirmeach @ 1500°C | 4. 70 10-6/°C |
Seoltacht theirmeach @ 1200°C | 23W/m•K |
Modal leaisteacha | 240 GPa |
Friotaíocht turraing teirmeach | Thar a bheith go maith |
Is iad na buntáistí a bhaineann le Paddle Cantilever Casta SiC de chuid VET Energy le haghaidh Próiseáil Wafer:
- Cobhsaíocht teocht ard: inúsáidte i dtimpeallachtaí os cionn 1600 ° C;
- Comhéifeacht leathnú teirmeach íseal: coinníonn cobhsaíocht tríthoiseach, ag laghdú riosca warpage wafer;
-High íonachta: riosca níos ísle éillithe miotail;
-Inertness ceimiceach: creimeadh-resistant, oiriúnach do thimpeallachtaí gáis éagsúla;
-Ard-neart agus cruas: Caith-resistant, shaol seirbhíse fada;
-Seoltacht theirmeach maith: cuidíonn sé le téamh aonfhoirmeach wafer.