Conas bád grafite PECVD a ghlanadh？| Fuinneamh VET

1. Admháil roimh ghlanadh

1) Nuair a bheidh anBád graifíte PECVDÚsáidtear /iompróir níos mó ná 100 go 150 uair, ní mór don oibreoir an coinníoll brataithe a sheiceáil in am. Má tá sciath neamhghnácha ann, ní mór é a ghlanadh agus a dhearbhú. Is é gorm gnáthdath brataithe na sliseog sileacain sa bhád/iompróir graifíte. Má tá dathanna neamh-ghorm, iolracha ag an wafer, nó má tá an difríocht dath idir na sliseog mór, is sciath neamhghnácha é, agus ní mór cúis an mhínormáltachta a dhearbhú in am.
2) Tar éis don phearsanra próiseas anailís a dhéanamh ar choinníoll sciath anBád graifíte PECVD/iompróir, cinnfidh siad an gá an bád graifíte a ghlanadh agus an gá an pointe cárta a athsholáthar, agus an bád / iompróir graifíte is gá a ghlanadh a thabhairt ar láimh don phearsanra trealaimh lena ghlanadh.

 

3) Tar éis anbád grafite/ má dhéantar damáiste don iompróir, tógfaidh an pearsanra táirgthe na sliseog sileacain go léir sa bhád graifíte agus úsáidfidh siad CDA (aer comhbhrúite) chun na blúirí sabád grafite. Tar éis é a chríochnú, ardóidh an pearsanra trealaimh é isteach sa umar aigéad a ullmhaíodh le cion áirithe de réiteach HF le haghaidh glanadh.

 

2. Glanadh bád grafite

Moltar tuaslagán aigéad hidreafluarach 15-25% a úsáid ar feadh trí bhabhta glantacháin, gach ceann ar feadh 4-5 uair an chloig, agus bubbling nítrigine go tréimhsiúil le linn an phróisis maosaithe agus glantacháin, ag cur thart ar leath uair an chloig de ghlanadh; Nóta: ní mholtar aer a úsáid go díreach mar fhoinse gáis le haghaidh bubbling. Tar éis picilte, sruthlaigh le huisce íon ar feadh thart ar 10 uair an chloig, agus deimhnigh go bhfuil an bád glanta go maith. Tar éis a ghlanadh, seiceáil le do thoil dromchla an bháid, an pointe cárta graifíte agus an leathán bád comhpháirteach, agus páirteanna eile le feiceáil an bhfuil aon iarmhar nítríde sileacain ann. Ansin tirim de réir na gceanglas.

3. Réamhchúraimí glantacháin

A) Ós rud é gur substaint an-chreimneach é aigéad HF agus go bhfuil luaineacht áirithe aige, tá sé contúirteach d'oibreoirí. Mar sin, ní mór d'oibreoirí ag an ionad glantacháin réamhchúraimí sábháilteachta a ghlacadh agus a bheith á mbainistiú ag duine tiomnaithe.

B) Moltar an bád a dhíchóimeáil agus gan ach an chuid graifíte a ghlanadh le linn glantacháin, ionas gur féidir gach cuid teagmhála a ghlanadh níos críochnúla. Faoi láthair, úsáideann go leor déantúsóirí baile glanadh iomlán, atá áisiúil, ach toisc go bhfuil aigéad HF creimneach do chodanna ceirmeacha, giorróidh an glanadh iomlán saol seirbhíse na gcodanna comhfhreagracha.