PECVD Loading Tray Deposition Graphite Tray

Koarte beskriuwing:

VET Energy's PECVD Loading Tray is ûntworpen om feilige en sels stipe te leverjen foar wafels tidens deposysje, it ferbetterjen fan de konsistinsje en kwaliteit fan it ôfsettingsproses. Mei syn treflike waarmte ferset, de Graphite Tray helpt te behâlden in kontrolearre omjouwing binnen PECVD keamers, it ferminderjen fan it risiko fan fersmoarging en it garandearjen fan hege proses effisjinsje.

Stjoer e-mail nei ús Download as PDF

Produkt Detail

Produkt Tags

VET Energy PECVD laden lade is in presys drager ûntworpen foar PECVD (plasma fersterke gemyske dampdeposysje) proses. Dizze grafytbak fan hege kwaliteit is makke fan grafytmateriaal mei hege suverens, hege tichtheid. It hat poerbêst hege temperatuer ferset, corrosie ferset, dimensional stabiliteit en oare skaaimerken. It kin in stabile dragerplatfoarm leverje foar PECVD-proses en soargje foar de uniformiteit en flatens fan filmôfsetting.

VET Energy PECVD laden trays wurde in soad brûkt yn semiconductor, fotovoltaïsche, LED en oare fjilden. Bygelyks:

▪ Semiconductor: PECVD proses foar semiconductor materialen lykas silisium wafers en epitaxial wafers.

▪ Fotovoltaïsk: PECVD-proses foar tinne films fan sinnesellen.

▪ LED: PECVD-proses foar LED-chips.

Produkt Foardielen

▪Ferbetterje filmkwaliteit:Soargje foar unifoarme filmdeposysje en ferbetterje filmkwaliteit.

▪Ferlingje it libben fan apparatuer:Excellent corrosie ferset, ferlingje de tsjinst libben fan PECVD apparatuer.

▪Ferminderje produksjekosten:Hege kwaliteit grafyt trays kinne ferminderjen skrap taryf en ferminderje produksje kosten.

Grafytmateriaal fan SGL:

Typyske parameter: R6510
Yndeks	Test standert	Wearde	Ienheid
Gemiddelde korrelgrutte	ISO 13320	10	μm
Bulk tichtens	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Iepen porositeit	DIN 66133	10	%
Middele poregrutte	DIN 66133	1.8	μm
Permeabiliteit	DIN 51935	0.06	cm²/s
Rockwell hurdens HR5/100	DIN IEC 60413/303	90	HR
Spesifike elektryske resistivity	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Flexural sterkte	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Compressive sterkte	DIN 51910	130	MPa
Jonge modulus	DIN 51915	11,5 × 10³	MPa
Termyske útwreiding (20-200 ℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Thermyske konduktiviteit (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

It is spesifyk ûntworpen foar hege-effisjinsje produksje fan sinne-sellen, en stipet G12-ferwurking fan grutte wafers. Optimalisearre dragerûntwerp fergruttet de trochslach signifikant, wêrtroch hegere opbringstraten en legere produksjekosten mooglik binne.

Ûnderdiel	Type	Number wafer drager
PEVCD Grephite boat - De 156 rige	156-13 grephite boat	144
	156-19 grephite boat	216
	156-21 grephite boat	240
	156-23 grafyt boat	308
PEVCD Grephite boat - De 125 rige	125-15 grephite boat	196
	125-19 grephite boat	252
	125-21 grphite boat	280