Graphite Substrate Wafer Holder foar PECVD

Koarte beskriuwing:

VET Energy's Graphite Substrate Holder is ûntworpen om wafer-ôfstimming en stabiliteit te behâlden yn it heule PECVD-proses, it foarkommen fan kontaminaasje en it minimalisearjen fan it risiko op skea. De Graphite Wafer Holder soarget foar in feilich, sels platfoarm, en soarget derfoar dat wafels evenredich wurde bleatsteld oan it plasma foar konsekwinte en heechweardige ôfsetting. Mei syn hege termyske conductivity en útsûnderlike sterkte, dizze holder helpt ferbetterjen totale proses effisjinsje en produkt prestaasjes.

Stjoer e-mail nei ús Download as PDF

Produkt Detail

Produkt Tags

VET Energy Graphite Substrate Wafer Holder is in presysdrager ûntworpen foar PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) proses. Dizze hege kwaliteit Graphite Substrate Holder is makke fan hege suverens, hege tichtheid grafyt materiaal, mei poerbêste hege temperatuer ferset, corrosie ferset, dimensionale stabiliteit en oare skaaimerken. It kin in stabile stipeplatfoarm leverje foar PECVD-proses en soargje foar de uniformiteit en flatens fan filmôfsetting.

VET Energy PECVD proses grafyt wafer stipe tafel hat de folgjende skaaimerken:

▪Hege suverens:ekstreem lege ûnreinens ynhâld, foarkomme fersmoarging fan film, soargje foar filmkwaliteit.

▪Hege tichtens:hege tichtheid, hege meganyske sterkte, kin tsjin hege temperatuer en hege druk PECVD omjouwing.

▪Goede dimensionale stabiliteit:lytse dimensionale feroaring by hege temperatuer, garandearjen proses stabiliteit.

▪Uitstekende termyske conductivity:effektyf oerdrage waarmte om wafer oververhitting te foarkommen.

▪Sterke corrosie ferset:kin wjerstean eroazje troch ferskate corrosive gassen en plasma.

▪Oanpaste tsjinst:grafytstipe tafels fan ferskillende maten en foarmen kinne wurde oanpast neffens klant behoeften.

Produkt Foardielen

▪Ferbetterje filmkwaliteit:Soargje foar unifoarme filmdeposysje en ferbetterje filmkwaliteit.

▪Ferlingje it libben fan apparatuer:Excellent corrosie ferset, ferlingje de tsjinst libben fan PECVD apparatuer.

▪Ferminderje produksjekosten:Hege kwaliteit grafyt trays kinne ferminderjen skrap taryf en ferminderje produksje kosten.

Grafytmateriaal fan SGL:

Typyske parameter: R6510
Yndeks	Test standert	Wearde	Ienheid
Gemiddelde korrelgrutte	ISO 13320	10	μm
Bulk tichtens	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Iepen porositeit	DIN 66133	10	%
Middele poregrutte	DIN 66133	1.8	μm
Permeabiliteit	DIN 51935	0.06	cm²/s
Rockwell hurdens HR5/100	DIN IEC 60413/303	90	HR
Spesifike elektryske resistivity	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Flexural sterkte	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Compressive sterkte	DIN 51910	130	MPa
Jonge modulus	DIN 51915	11,5 × 10³	MPa
Termyske útwreiding (20-200 ℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Thermyske konduktiviteit (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

It is spesifyk ûntworpen foar hege-effisjinsje produksje fan sinne-sellen, en stipet G12-ferwurking fan grutte wafers. Optimalisearre dragerûntwerp fergruttet de trochslach signifikant, wêrtroch hegere opbringstraten en legere produksjekosten mooglik binne.

Ûnderdiel	Type	Number wafer drager
PEVCD Grephite boat - De 156 rige	156-13 grephite boat	144
	156-19 grephite boat	216
	156-21 grephite boat	240
	156-23 grafyt boat	308
PEVCD Grephite boat - De 125 rige	125-15 grephite boat	196
	125-19 grephite boat	252
	125-21 grphite boat	280