PECVD Graphite Wafer Support

Koarte beskriuwing:

Untworpen foar presyzje en prestaasjes, VET Energy's Graphite Wafer Support is it ideale materiaal foar gebrûk yn avansearre waferferwurking, wêr't hege thermyske stabiliteit en konsekwinte prestaasjes kritysk binne. Oft jo wurkje mei semiconductor wafers of oare delikate substraten, dizze hege kwaliteit grafyt stipe sil ferbetterje dyn proses betrouberens en produkt kwaliteit, wêrtroch't it in ûnmisbere komponint foar moderne produksje.

Stjoer e-mail nei ús Download as PDF

Produkt Detail

Produkt Tags

VET Energy PECVD proses grafyt wafer stipe is in kearn verbruiksartikel ûntworpen foar PECVD (plasma ferbettere gemyske damp deposition) proses. Dit produkt is makke fan hege suverens, hege tichtheid grafyt materiaal, mei poerbêste hege temperatuer ferset, corrosie ferset, dimensionale stabiliteit en oare skaaimerken, kin soargje foar in stabile stipe platfoarm foar PECVD proses, te garandearjen de uniformiteit en flatness fan film deposition.

It ûntwerp "grafytstipe" fan VET Energy-grafytwafer-stipe kin net allinich de wafel effektyf stypje, mar ek thermyske stabiliteit leverje yn 'e hege temperatuer en hege druk PECVD-omjouwing om de stabiliteit fan it proses te garandearjen.

VET Energy PECVD proses grafyt wafer stipe hat de folgjende skaaimerken:

▪Hege suverens:ekstreem lege ûnreinens ynhâld, foarkomme fersmoarging fan 'e film, om de kwaliteit fan' e film te garandearjen.

▪Hege tichtens:hege tichtheid, hege meganyske sterkte, kin tsjin hege temperatuer en hege druk PECVD omjouwing.

▪Goede dimensionale stabiliteit:lytse dimensionale feroarings by hege temperatuer te garandearjen de stabiliteit fan it proses.

▪Uitstekende termyske conductivity:effektyf oerdrage waarmte om wafer oververhitting te foarkommen.

▪Sterke corrosie ferset:By steat om te wjerstean eroazje troch ferskate corrosive gassen en plasma.

▪Oanpaste tsjinst:Grafytstipetafels fan ferskate maten en foarmen kinne wurde oanpast neffens klantferlet.

Grafytmateriaal fan SGL:

Typyske parameter: R6510
Yndeks	Test standert	Wearde	Ienheid
Gemiddelde korrelgrutte	ISO 13320	10	μm
Bulk tichtens	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Iepen porositeit	DIN 66133	10	%
Middele poregrutte	DIN 66133	1.8	μm
Permeabiliteit	DIN 51935	0.06	cm²/s
Rockwell hurdens HR5/100	DIN IEC 60413/303	90	HR
Spesifike elektryske resistivity	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Flexural sterkte	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Compressive sterkte	DIN 51910	130	MPa
Jonge modulus	DIN 51915	11,5 × 10³	MPa
Termyske útwreiding (20-200 ℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Thermyske konduktiviteit (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

It is spesifyk ûntworpen foar hege-effisjinsje produksje fan sinne-sellen, en stipet G12-ferwurking fan grutte wafers. Optimalisearre dragerûntwerp fergruttet de trochslach signifikant, wêrtroch hegere opbringstraten en legere produksjekosten mooglik binne.

Ûnderdiel	Type	Number wafer drager
PEVCD Grephite boat - De 156 rige	156-13 grephite boat	144
	156-19 grephite boat	216
	156-21 grephite boat	240
	156-23 grafyt boat	308
PEVCD Grephite boat - De 125 rige	125-15 grephite boat	196
	125-19 grephite boat	252
	125-21 grphite boat	280