Graphite Wafer Boat foar ôfsetting

Koarte beskriuwing:

VET Energy grafyt wafer boat is in heechweardige verbruiksartikel op maat foar ôfsettingsprosessen yn semiconductor, fotovoltaïsche en oare yndustry. Makke fan hege suverens, hege tichtheid grafyt materiaal, dit produkt hat poerbêst hege temperatuer ferset, corrosie ferset, dimensionale stabiliteit en oare skaaimerken, en kin soargje foar in stabile drager platfoarm foar it ôfsettingsproses te garandearjen de uniformiteit en platheid fan tinne film deposition .

Stjoer e-mail nei ús Download as PDF

Produkt Detail

Produkt Tags

De PECVD-grafytboat fan VET Energy wurdt makke mei isostatysk grafyt mei hege suverens, mei porositeit ûnder 15% en oerflakrûchheid Ra≤1.6μm. De superieure dimensionale stabiliteit en termyske konduktiviteit soargje foar unifoarme filmôfsetting en ferbettere seleffisjinsje.

Grafytmateriaal fan SGL:

Typyske parameter: R6510
Yndeks	Test standert	Wearde	Ienheid
Gemiddelde korrelgrutte	ISO 13320	10	μm
Bulk tichtens	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Iepen porositeit	DIN 66133	10	%
Middele poregrutte	DIN 66133	1.8	μm
Permeabiliteit	DIN 51935	0.06	cm²/s
Rockwell hurdens HR5/100	DIN IEC 60413/303	90	HR
Spesifike elektryske resistivity	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Flexural sterkte	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Compressive sterkte	DIN 51910	130	MPa
Jonge modulus	DIN 51915	11,5 × 10³	MPa
Termyske útwreiding (20-200 ℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Thermyske konduktiviteit (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

It is spesifyk ûntworpen foar hege-effisjinsje produksje fan sinne-sellen, en stipet G12-ferwurking fan grutte wafers. Optimalisearre dragerûntwerp fergruttet de trochslach signifikant, wêrtroch hegere opbringstraten en legere produksjekosten mooglik binne.

Ûnderdiel	Type	Number wafer drager
PEVCD Grephite boat - De 156 rige	156-13 grephite boat	144
	156-19 grephite boat	216
	156-21 grephite boat	240
	156-23 grafyt boat	308
PEVCD Grephite boat - De 125 rige	125-15 grephite boat	196
	125-19 grephite boat	252
	125-21 grphite boat	280