High Purity Graphite PECVD Boat foar sinnepaniel
Beskriuwing
1). Oannomd om de technology "kleurlenzen" te eliminearjen, om der wis fan te wêzen sûnder "kleurlenzen" tidens it lange-termyn proses.
2). Makke fan it SGL ymportearre grafyt materiaal mei hege suverens, lege ûnreinens ynhâld en hege sterkte.
3). It brûken fan de 99,9% keramyk foar de keramyske gearkomste mei sterke corrosie resistant prestaasjes en brust bewiis.
4). Mei help fan de presyzje ferwurkjen apparatuer te garandearjen de krektens fan elke dielen.
Spesifikaasje
Ûnderdiel | Type | Number wafer drager |
PECVD grafytboat — De 156 rige | 156-13 grafyt boat | 144 |
156-19 grafyt boat | 216 | |
156-21 grafyt boat | 240 | |
156-23 grafyt boat | 308 | |
PECVD grafytboat — De 125 rige | 125-15 grafyt boat | 196 |
125-19 grafyt boat | 252 | |
125-21 grafyt boat | 280 |
Mear produkten