Graphite Carrier foar PECVD proses

Koarte beskriuwing:

VET EnergyPECVD Graphite Boat foar sinnepaniel is in avansearre komponint spesifyk ûntworpen foar de produksje fan sinnepanielen mei hege prestaasjes. Brûkt yn Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD) prosessen, dizze grafytboat soarget foar optimale materiaal ôfhanneling en unifoarme ôfsetting fan tinne films op sinnesellen. Yngenieurd foar presyzje en duorsumens, it leveret superieure termyske konduktiviteit, hege korrosjebestriding en minimale fersmoarging, dy't essensjeel binne foar de produksje fan effisjinte sinnepanielen fan hege kwaliteit.

Stjoer e-mail nei ús Download as PDF

Produkt Detail

Produkt Tags

VET EnergyPECVD proses grafyt drager is in hege kwaliteit verbruiksartikelen ôfstimd foar PECVD (plasma ferbettere gemyske damp deposition) proses. Dizze grafytdrager is makke fan grafytmateriaal mei hege suverens, hege tichtheid, mei poerbêste hege temperatuerresistinsje, korrosjebestriding, dimensionale stabiliteit en oare skaaimerken, kin in stabile dragerplatfoarm foar PECVD-proses leverje, om de uniformiteit en flakheid fan tinne film te garandearjen. ôfsetting.

Grafytdragers foar PECVD-proses hawwe de folgjende skaaimerken:

▪ Hege suverens: ekstreem lege ûnreinens ynhâld, it foarkommen fan fersmoarging fan 'e film en garandearjen fan filmkwaliteit.

▪ Hege tichtens: hege tichtheid, hege meganyske sterkte, by steat om te wjerstean hege temperatuer en hege druk PECVD omjouwing.

▪ Goede dimensionale stabiliteit: lytse dimensionale feroaring by hege temperatuer, garandearje proses stabiliteit.

▪ Prachtige thermyske konduktiviteit: effektyf oerdrage waarmte om wafer-oververhitting te foarkommen.

▪ Sterke korrosjebestriding: yn steat om eroazje te wjerstean troch ferskate korrosive gassen en plasma.

▪ Oanpaste tsjinst: grafytdragers fan ferskate grutte en foarmen kinne oanpast wurde neffens klantferlet.

Grafytmateriaal fan SGL:

Typyske parameter: R6510
Yndeks	Test standert	Wearde	Ienheid
Gemiddelde korrelgrutte	ISO 13320	10	μm
Bulk tichtens	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Iepen porositeit	DIN 66133	10	%
Middele poregrutte	DIN 66133	1.8	μm
Permeabiliteit	DIN 51935	0.06	cm²/s
Rockwell hurdens HR5/100	DIN IEC 60413/303	90	HR
Spesifike elektryske resistivity	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Flexural sterkte	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Compressive sterkte	DIN 51910	130	MPa
Jonge modulus	DIN 51915	11,5 × 10³	MPa
Termyske útwreiding (20-200 ℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Thermyske konduktiviteit (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

It is spesifyk ûntworpen foar hege-effisjinsje produksje fan sinne-sellen, en stipet G12-ferwurking fan grutte wafers. Optimalisearre dragerûntwerp fergruttet de trochslach signifikant, wêrtroch hegere opbringstraten en legere produksjekosten mooglik binne.

Ûnderdiel	Type	Number wafer drager
PEVCD Grephite boat - De 156 rige	156-13 grephite boat	144
	156-19 grephite boat	216
	156-21 grephite boat	240
	156-23 grafyt boat	308
PEVCD Grephite boat - De 125 rige	125-15 grephite boat	196
	125-19 grephite boat	252
	125-21 grphite boat	280