VET EnergyPECVD grafytboat foar sinnesellen is in kearnverbruiksartikel ûntworpen foar it PECVD (plasma fersterke gemyske dampdeposysje) proses fan sinnesellen. De grafytboat is makke fan isostatysk grafyt mei hege suverens mei in porositeit fan minder dan 15% en in oerflakruwheid fan Ra≤1.6μm. It hat treflike eigenskippen lykas hege temperatuer ferset, corrosie ferset, en dimensionale stabiliteit. Excellent dimensional stabiliteit en termyske conductivity soargje foar unifoarm film deposition en ferbetterjen batterij effisjinsje. It kin in stabile drager leverje yn in hege temperatuer en hege druk PECVD-omjouwing om unifoarme ôfsetting en hege kwaliteit fan sinneselfilms te garandearjen.
Grafytmateriaal fan SGL:
| Typyske parameter: R6510 | |||
| Yndeks | Test standert | Wearde | Ienheid |
| Gemiddelde korrelgrutte | ISO 13320 | 10 | μm |
| Bulk tichtens | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | g/cm3 |
| Iepen porositeit | DIN 66133 | 10 | % |
| Middele poregrutte | DIN 66133 | 1.8 | μm |
| Permeabiliteit | DIN 51935 | 0.06 | cm²/s |
| Rockwell hurdens HR5/100 | DIN IEC 60413/303 | 90 | HR |
| Spesifike elektryske resistivity | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
| Flexural sterkte | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
| Compressive sterkte | DIN 51910 | 130 | MPa |
| Jonge modulus | DIN 51915 | 11,5 × 10³ | MPa |
| Termyske útwreiding (20-200 ℃) | DIN 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
| Thermyske konduktiviteit (20 ℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
It is spesifyk ûntworpen foar hege-effisjinsje produksje fan sinne-sellen, en stipet G12-ferwurking fan grutte wafers. Optimalisearre dragerûntwerp fergruttet de trochslach signifikant, wêrtroch hegere opbringstraten en legere produksjekosten mooglik binne.
| Ûnderdiel | Type | Number wafer drager |
| PEVCD Grephite boat - De 156 rige | 156-13 grephite boat | 144 |
| 156-19 grephite boat | 216 | |
| 156-21 grephite boat | 240 | |
| 156-23 grafyt boat | 308 | |
| PEVCD Grephite boat - De 125 rige | 125-15 grephite boat | 196 |
| 125-19 grephite boat | 252 | |
| 125-21 grphite boat | 280 |
