Grafyt boat brûkt yn PECVD fan sinne sel produksje line
De produksje fan sinnesellen fereasket seis grutte prosessen: texturing, diffusion, etsen, coating, skerm printing en sintering. Yn 'e fabrikaazje fan sinnesellen brûkt it PECVD-buisbedekkingsproses in grafytboat as wurklichem. It coatingproses brûkt plasma fersterke gemyske dampdeposysje om in silisiumnitridefilm op 'e foarkant fan' e silisiumwafel te deponearje om sinneljochtrefleksje en it oerflak fan 'e silisiumwafel te ferminderjen.
Funksjes fan ús PECVD grafytboat:
1). Oannommen om de technology "kleurlenzen" te eliminearjen, om der wis fan te wêzen sûnder "coloe-lenzen" tidens it lange-termyn proses.
2). Makke fan it ymportearre grafyt materiaal mei hege suverens, lege ûnreinens ynhâld en hege sterkte.
3). It brûken fan de 99,9% keramyk foar de keramyske gearkomste mei sterke corrosie resistant prestaasjes en brust bewiis.
4). Mei help fan de presyzje ferwurkjen apparatuer te garandearjen de krektens fan elke dielen.
Spesifikaasje
| Ûnderdiel | Type | Number wafer drager |
| PEVCD grafyt boat --- De 156 rige | 156-13 grafyt boat | 144 |
| 156-19 grafyt boat | 216 | |
| 156-21 grafyt boat | 240 | |
| 156-23 grafyt boat | 308 | |
| PEVCD grafyt boat --- De 125 rige | 125-15 grafyt boat | 196 |
| 125-19 grafyt boat | 252 | |
| 125-21 grafyt boat | 280 |
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd is in hege-tech ûndernimming dy't rjochtet op de produksje en ferkeap fan hege-ein avansearre materialen, de materialen en technology ynklusyf grafyt, silisium carbide, keramyk, oerflak behanneling lykas SiC coating, TaC coating, glassy koalstof coating, pyrolytic koalstof coating, ensfh, dizze produkten wurde in soad brûkt yn fotovoltaïsche, semiconductor, nije enerzjy, metallurgy, etc.
Us technyske team komt út top ynlânske ûndersyk ynstellings, en hawwe ûntwikkele meardere patintearre technologyen te garandearjen produkt prestaasjes en kwaliteit, kin ek foarsjen klanten mei profesjonele materiaal oplossings.
