محصولDشرح
قایق ویفر کاربید سیلیکون به طور گسترده ای به عنوان نگهدارنده ویفر در فرآیند انتشار در دمای بالا استفاده می شود.
مزایا:
مقاومت در برابر دمای بالا:استفاده معمولی در 1800 ℃
هدایت حرارتی بالا:معادل مواد گرافیت
سختی بالا:سختی تنها پس از الماس، نیترید بور
مقاومت در برابر خوردگی:اسید و قلیایی قوی هیچ خوردگی ندارند، مقاومت در برابر خوردگی بهتر از کاربید تنگستن و آلومینا است.
وزن سبک:چگالی کم، نزدیک به آلومینیوم
بدون تغییر شکل: ضریب انبساط حرارتی پایین
مقاومت در برابر شوک حرارتی:می تواند تغییرات شدید دما را تحمل کند، در برابر شوک حرارتی مقاومت کند و عملکرد پایداری دارد
خواص فیزیکی SiC
| اموال | ارزش | روش |
| تراکم | 3.21 گرم بر سی سی | سینک شناور و ابعاد |
| گرمای خاص | 0.66 J/g درجه کلوین | فلاش لیزری پالسی |
| استحکام خمشی | 450 MPa560 MPa | خم 4 نقطه، خم نقطه RT4، 1300 درجه |
| چقرمگی شکست | 2.94 مگاپاسکال m1/2 | میکرو تورفتگی |
| سختی | 2800 | ویکر، 500 گرم بار |
| مدول الاستیک مدول یانگ | 450 گیگا پاسکال 430 گیگا پاسکال | خم 4 pt، خم RT4 pt، 1300 درجه سانتی گراد |
| اندازه دانه | 2-10 میکرومتر | SEM |
خواص حرارتی SiC
| هدایت حرارتی | 250 W/m °K | روش فلاش لیزری، RT |
| انبساط حرارتی (CTE) | 4.5 × 10-6 درجه کلوین | دمای اتاق تا 950 درجه سانتیگراد، دیلاتومتر سیلیس |
