حلقه گرافیتی با پوشش کاربید سیلیکون CVD

توضیحات کوتاه:

حلقه گرافیتی با روکش کاربید سیلیکون VET Energy یک محصول با کارایی بالا است که برای ارائه عملکرد ثابت و قابل اعتماد در مدت زمان طولانی طراحی شده است. دارای مقاومت حرارتی و یکنواختی حرارتی فوق العاده خوب، خلوص بالا، مقاومت در برابر فرسایش است که آن را به راه حل عالی برای کاربردهای پردازش ویفر تبدیل می کند.


جزئیات محصول

برچسب های محصول

خواص معمولی مواد پایه گرافیت:

چگالی ظاهری: 1.85 گرم بر سانتی متر مکعب
مقاومت الکتریکی: 11 μΩm
قدرت خمشی: 49 مگاپاسکال (500 کیلوگرم بر سانتی‌متر مربع)
سختی ساحل: 58
خاکستر: <5ppm
هدایت حرارتی: 116 W/mK (100 kcal/mhr-℃)

ما گیرنده‌های مختلف و اجزای گرافیت را برای همه راکتورهای اپیتاکسی فعلی عرضه می‌کنیم. محصولات ما شامل گیرنده‌های بشکه‌ای برای واحدهای LPE، گیرنده‌های پنکیک برای واحدهای LPE، CSD، و جمینی، و گیرنده‌های تک ویفری برای واحدهای کاربردی و ASM هستند.

دامپزشک با ترکیب مشارکت های قوی با OEM های پیشرو، تخصص مواد و دانش ساخت، طراحی بهینه را برای برنامه شما ارائه می دهد.

3

انرژی VET است راتولید کننده واقعی گرافیت و محصولات کاربید سیلیکون سفارشی با پوشش CVD،می تواند عرضه کندمختلفقطعات سفارشی برای صنایع نیمه هادی و فتوولتائیک. Oتیم فنی ما از موسسات تحقیقاتی برتر داخلی آمده است، می تواند راه حل های مواد حرفه ای تری ارائه دهدبرای شما

Fویژگی های محصولات ما:

1. مقاومت در برابر اکسیداسیون در دمای بالا تا 1700.
2. خلوص بالا ویکنواختی حرارتی
3. مقاومت در برابر خوردگی عالی: اسید، قلیایی، نمک و معرف های آلی.
4. سختی بالا، سطح فشرده، ذرات ریز.
5. عمر طولانی تر و بادوام تر

CVD SiC薄膜基本物理性能

خواص فیزیکی اولیه CVD SiCپوشش

性质 / اموال

典型数值 / ارزش معمولی

晶体结构 / ساختار کریستالی

فاز β FCC多晶,主要为(111 )取向

密度 / تراکم

3.21 گرم بر سانتی متر مکعب

硬度 / سختی

2500 维氏硬度 (500 گرم بار)

晶粒大小 / Grain SiZe

2 تا 10 میکرومتر

纯度 / خلوص شیمیایی

99.99995%

热容 / ظرفیت حرارتی

640 ژون کیلوگرم-1· K-1

升华温度 / دمای تصعید

2700 ℃

抗弯强度 / استحکام خمشی

415 مگاپاسکال RT 4 نقطه

杨氏模量 / مدول یانگ

430 Gpa خم 4pt، 1300℃

导热系数 / ترمالرسانایی

300W·m-1· K-1

热膨胀系数 / انبساط حرارتی (CTE)

4.5×10-6K-1

1

2

به گرمی از شما برای بازدید از کارخانه ما استقبال می کنیم، بیایید بحث بیشتری داشته باشیم!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户


  • قبلی:
  • بعدی:

  • چت آنلاین واتس اپ!