CVD (رسوب بخار شیمیایی) یک روش متداول برای تهیه پوشش های کاربید سیلیکون است.پوشش های کاربید سیلیکون CVDدارای بسیاری از ویژگی های عملکرد منحصر به فرد است. این مقاله به معرفی روش تهیه پوشش کاربید سیلیکون CVD و ویژگی های عملکرد آن می پردازد.
1. روش تهیه ازپوشش کاربید سیلیکون CVD
روش CVD پیش سازهای گازی را تحت شرایط دمای بالا به پوشش های کاربید سیلیکون جامد تبدیل می کند. با توجه به پیش سازهای گازی مختلف، می توان آن را به فاز گاز CVD و فاز مایع CVD تقسیم کرد.
1. CVD فاز بخار
فاز بخار CVD از پیش سازهای گازی، معمولاً ترکیبات سیلیسی ارگانیک، برای دستیابی به رشد فیلم های کاربید سیلیکون استفاده می کند. ترکیبات سیلیکونی ارگانوسیلین که معمولاً مورد استفاده قرار می گیرند عبارتند از متیل سیلان، دی متیل سیلان، مونوسیلان و غیره که با انتقال پیش سازهای گازی به داخل محفظه های واکنش با دمای بالا، لایه های کاربید سیلیکون را بر روی بسترهای فلزی تشکیل می دهند. مناطق با دمای بالا در محفظه واکنش معمولاً توسط گرمایش القایی یا گرمایش مقاومتی ایجاد می شوند.
2. فاز مایع CVD
فاز مایع CVD از یک پیش ساز مایع، معمولا یک حلال آلی حاوی سیلیکون و یک ترکیب سیلانول استفاده می کند، که در یک محفظه واکنش حرارت داده و تبخیر می شود، و سپس یک فیلم کاربید سیلیکون از طریق یک واکنش شیمیایی روی بستر تشکیل می شود.
2. ویژگی های عملکردپوشش کاربید سیلیکون CVD
1. عملکرد درجه حرارت بالا عالی
پوشش های کاربید سیلیکون CVDپایداری عالی در دمای بالا و مقاومت در برابر اکسیداسیون را ارائه می دهد. توانایی کار در محیط های با دمای بالا را دارد و می تواند در شرایط سخت در دماهای بالا مقاومت کند.
2.خواص مکانیکی خوب
پوشش کاربید سیلیکون CVDدارای سختی بالا و مقاومت در برابر سایش خوب است. از لایه های فلزی در برابر سایش و خوردگی محافظت می کند و عمر مفید مواد را افزایش می دهد.
3. پایداری شیمیایی عالی
پوشش های کاربید سیلیکون CVDدر برابر مواد شیمیایی رایج مانند اسیدها، قلیاها و نمک ها بسیار مقاوم هستند. در برابر حملات شیمیایی و خوردگی زیرلایه مقاومت می کند.
4. ضریب اصطکاک کم
پوشش کاربید سیلیکون CVDدارای ضریب اصطکاک کم و خاصیت خود روانکاری خوب است. اصطکاک و سایش را کاهش می دهد و کارایی استفاده از مواد را بهبود می بخشد.
5. هدایت حرارتی خوب
پوشش کاربید سیلیکون CVD خواص هدایت حرارتی خوبی دارد. این می تواند به سرعت گرما را هدایت کند و راندمان اتلاف حرارت پایه فلزی را بهبود بخشد.
6. خواص عایق الکتریکی عالی
پوشش کاربید سیلیکون CVD دارای خواص عایق الکتریکی خوبی است و می تواند از نشت جریان جلوگیری کند. به طور گسترده ای در حفاظت عایق دستگاه های الکترونیکی استفاده می شود.
7. ضخامت و ترکیب قابل تنظیم
با کنترل شرایط در طول فرآیند CVD و غلظت پیش ساز، ضخامت و ترکیب فیلم کاربید سیلیکون را می توان تنظیم کرد. این گزینه ها و انعطاف پذیری زیادی را برای برنامه های مختلف فراهم می کند.
به طور خلاصه، پوشش کاربید سیلیکون CVD دارای عملکرد عالی در دمای بالا، خواص مکانیکی عالی، پایداری شیمیایی خوب، ضریب اصطکاک کم، هدایت حرارتی خوب و خواص عایق الکتریکی است. این ویژگی ها باعث می شود که پوشش های کاربید سیلیکون CVD به طور گسترده در بسیاری از زمینه ها از جمله الکترونیک، اپتیک، هوا فضا، صنایع شیمیایی و غیره استفاده شود.
زمان ارسال: مارس-20-2024