PECVD Kargatzeko Erretilua Deposizio Grafito Erretilua

PECVD Kargatzeko Erretilua Deposizio Grafitozko Erretilua Irudi nabarmena

Deskribapen laburra:

VET Energy-ren PECVD kargatzeko erretilua xaltze-prozesuaren koherentzia eta kalitatea hobetuz oblei euskarri segurua eta uniformea emateko diseinatuta dago. Beroarekiko erresistentzia bikainari esker, Grafito Erretiluak PECVD ganberen barruan ingurune kontrolatua mantentzen laguntzen du, kutsadura arriskua murrizten eta prozesuaren eraginkortasun handia bermatzen du.

Bidali mezu elektronikoa Deskargatu PDF moduan

Produktuaren xehetasuna

Produktuen etiketak

VET Energy PECVD kargatzeko erretilua PECVD (plasma hobetutako lurrun-deposizio kimikoa) prozesurako diseinatutako doitasun-eramailea da. Kalitate handiko grafitozko erretilu hau purutasun handiko eta dentsitate handiko grafitozko materialez egina dago. Tenperatura altuko erresistentzia bikaina, korrosioarekiko erresistentzia, dimentsio-egonkortasuna eta beste ezaugarri batzuk ditu. PECVD prozesurako eramaile-plataforma egonkorra eskain dezake eta filmaren deposizioaren uniformetasuna eta lautasuna bermatu dezake.

VET Energy PECVD kargatzeko erretiluak oso erabiliak dira erdieroaleetan, fotovoltaikoetan, LEDetan eta beste esparru batzuetan. Adibidez:

▪ Erdieroaleak: PECVD prozesua material erdieroaleetarako, hala nola silizio-obleak eta oble epitaxialak.

▪ Fotovoltaikoa: Eguzki-zelulen film meheetarako PECVD prozesua.

▪ LED: LED txipetarako PECVD prozesua.

Produktuaren Abantailak

▪Hobetu filmaren kalitatea:Ziurtatu filmaren deposizio uniformea eta hobetu filmaren kalitatea.

▪Ekipoen bizitza luzatzea:Korrosioarekiko erresistentzia bikaina, PECVD ekipoen zerbitzu-bizitza luzatu.

▪Produkzio kostuak murriztea:Kalitate handiko grafitozko erretiluak txatarra-tasa murriztu eta ekoizpen-kostuak murriztu ditzakete.

SGLren grafito materiala:

Parametro tipikoa: R6510
Aurkibidea	Proba estandarra	Balioa	Unitatea
Aleen batez besteko tamaina	ISO 13320	10	μm
Solte-dentsitatea	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Porositate irekia	DIN66133	10	%
Poroen tamaina ertainekoa	DIN66133	1.8	μm
Iragazkortasuna	DIN 51935	0,06	cm²/s
Rockwell gogortasuna HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Erresistentzia elektriko espezifikoa	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Flexio-indarra	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Konpresioaren indarra	DIN 51910	130	MPa
Young-en modulua	DIN 51915	11,5×10³	MPa
Hedapen termikoa (20-200 ℃)	DIN 51909	4,2X10^-6	K^-1
Eroankortasun termikoa (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Eraginkortasun handiko eguzki-zelulen fabrikaziorako bereziki diseinatuta dago, G12 tamaina handiko obleen prozesatzea onartzen duena. Eramailearen diseinu optimizatuak errendimendua nabarmen handitzen du, etekin-tasa handiagoak eta ekoizpen-kostuak txikiagoak ahalbidetuz.

Elementua	Mota	Zenbaki-ostia eramailea
PEVCD Grephite itsasontzia - 156 seriea	156-13 grephite itsasontzia	144
	156-19 grefito txalupa	216
	156-21 grephite itsasontzia	240
	156-23 grafitozko itsasontzia	308
PEVCD Grephite itsasontzia - 125 seriea	125-15 grefito txalupa	196
	125-19 grefito txalupa	252
	125-21 grphite itsasontzia	280