PECVD grafito obleen euskarria

PECVD Graphite Wafer Support Irudi nabarmendua

Deskribapen laburra:

Zehaztasunerako eta errendimendurako diseinatua, VET Energy-ren Grafitoko Oblea euskarria material aproposa da obleen prozesamendu aurreratuan erabiltzeko, non egonkortasun termiko handia eta errendimendu koherentea funtsezkoak diren. Erdieroaleen obleekin edo beste substratu delikatu batzuekin lan egiten ari zaren ala ez, kalitate handiko grafito euskarri honek zure prozesuaren fidagarritasuna eta produktuaren kalitatea hobetuko ditu, fabrikazio modernorako ezinbesteko osagai bihurtuz.

Bidali mezu elektronikoa Deskargatu PDF moduan

Produktuaren xehetasuna

Produktuen etiketak

VET Energy PECVD prozesuko grafitozko obleen euskarria PECVD (plasma hobetutako lurrun kimikoen deposizioa) prozesurako diseinatutako oinarrizko kontsumigarri bat da. Produktu hau purutasun handiko eta dentsitate handiko grafitozko materialarekin egina dago, tenperatura altuko erresistentzia, korrosioarekiko erresistentzia, dimentsio-egonkortasuna eta beste ezaugarri batzuk dituena, PECVD prozesurako euskarri-plataforma egonkorra eskain dezake, filmaren deposizioaren uniformetasuna eta lautasuna bermatzeko.

VET Energy grafitozko obleen euskarriaren "grafitozko euskarria" diseinuak oblea modu eraginkorrean onartzen ez ezik, egonkortasun termikoa ere ematen du tenperatura altuko eta presio handiko PECVD ingurunean, prozesuaren egonkortasuna bermatzeko.

VET Energy PECVD prozesuko grafito obleen euskarriak ezaugarri hauek ditu:

▪Garbitasun handia:ezpurutasun-eduki oso baxua, filmaren kutsadura saihestu, filmaren kalitatea bermatzeko.

▪Dentsitate handia:dentsitate handiko, erresistentzia mekaniko handia, tenperatura altua eta presio handiko PECVD ingurunea jasan dezake.

▪Dimentsio-egonkortasun ona:tenperatura altuetan dimentsio aldaketa txikiak prozesuaren egonkortasuna bermatzeko.

▪Eroankortasun termiko bikaina:beroa modu eraginkorrean transferitu obleak gehiegi berotzea saihesteko.

▪Korrosioarekiko erresistentzia handia:Hainbat gas korrosiboren eta plasmaren higadurari aurre egiteko gai da.

▪Zerbitzu pertsonalizatua:Tamaina eta forma ezberdinetako grafitozko euskarri mahaiak bezeroen beharren arabera pertsonaliza daitezke.

SGLren grafito materiala:

Parametro tipikoa: R6510
Aurkibidea	Proba estandarra	Balioa	Unitatea
Aleen batez besteko tamaina	ISO 13320	10	μm
Solte-dentsitatea	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Porositate irekia	DIN66133	10	%
Poroen tamaina ertainekoa	DIN66133	1.8	μm
Iragazkortasuna	DIN 51935	0,06	cm²/s
Rockwell gogortasuna HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Erresistentzia elektriko espezifikoa	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Flexio-indarra	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Konpresioaren indarra	DIN 51910	130	MPa
Young-en modulua	DIN 51915	11,5×10³	MPa
Hedapen termikoa (20-200 ℃)	DIN 51909	4,2X10^-6	K^-1
Eroankortasun termikoa (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Eraginkortasun handiko eguzki-zelulen fabrikaziorako bereziki diseinatuta dago, G12 tamaina handiko obleen prozesatzea onartzen duena. Eramailearen diseinu optimizatuak errendimendua nabarmen handitzen du, etekin-tasa handiagoak eta ekoizpen-kostuak txikiagoak ahalbidetuz.

Elementua	Mota	Zenbaki-ostia eramailea
PEVCD Grephite itsasontzia - 156 seriea	156-13 grephite itsasontzia	144
	156-19 grefito txalupa	216
	156-21 grephite itsasontzia	240
	156-23 grafitozko itsasontzia	308
PEVCD Grephite itsasontzia - 125 seriea	125-15 grefito txalupa	196
	125-19 grefito txalupa	252
	125-21 grphite itsasontzia	280