SiC kattega grafiit MOCVD vahvlikandjad, grafiit sustseptoridSiC epitaksia,
Süsinik varustab susseptoreid, Grafiidist epitaksia sustseptorid, Grafiidist tugisubstraadid, MOCVD sustseptor, SiC epitaksia, Vahvli sustseptorid,
Meie SiC-kattega grafiidisusseptorite erilisteks eelisteks on ülikõrge puhtusaste, homogeenne kate ja suurepärane kasutusiga. Neil on ka kõrge keemilise vastupidavuse ja termilise stabiilsuse omadused.
Pooljuhtide rakenduste grafiidist substraadi SiC-kate annab suurepärase puhtuse ja vastupidavuse oksüdeerivale atmosfäärile.
CVD SiC või CVI SiC kantakse lihtsate või keerukate konstruktsiooniosade grafiidile. Kattekihti saab kanda erineva paksusega ja väga suurtele osadele.
Omadused:
· Suurepärane soojuslöögikindlus
· Suurepärane füüsiline löögikindlus
· Suurepärane keemiline vastupidavus
· Ülikõrge puhtusastmega
· Saadavus keerulises vormis
· Kasutatav oksüdeerivas atmosfääris
Rakendus:
Alusgrafiitmaterjali tüüpilised omadused:
Näiv tihedus: | 1,85 g/cm3 |
Elektriline takistus: | 11 μΩm |
Paindetugevus: | 49 MPa (500 kgf/cm2) |
Shore'i kõvadus: | 58 |
Tuhk: | <5 ppm |
Soojusjuhtivus: | 116 W/mK (100 kcal/mhr-℃) |
Süsinik varustab susseptoreidja grafiitkomponendid kõigi praeguste epitaksireaktorite jaoks. Meie portfell sisaldab tünn-sustseptoreid rakendus- ja LPE-seadmetele, pannkook-sustseptoreid LPE-, CSD- ja Gemini-seadmetele ning ühe vahvliga sustseptoreid rakendus- ja ASM-seadmetele. Ühendades tugevad partnerlussuhted juhtivate originaalseadmete tootjatega, materjaliteadmised ja tootmisalased oskusteabe, pakub SGL pakub teie rakenduse jaoks optimaalset disaini.