Susceptor de oblea con revestimiento TaC para G5 G10

Breve descripción:

El susceptor VET Energy Wafer con revestimiento TaC para G5 G10 es un producto de alto rendimiento diseñado para proporcionar un rendimiento constante y confiable durante un período prolongado. Tiene muy buena resistencia al calor y uniformidad térmica, alta pureza y resistencia a la erosión, lo que la convierte en la solución perfecta para aplicaciones de procesamiento de obleas.

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Detalle del producto

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El recubrimiento TaC es un tipo de recubrimiento de carburo de tantalio (TaC) preparado mediante tecnología de deposición física de vapor y tiene las siguientes características:

1. Alta dureza: La dureza del recubrimiento TaC es alta, generalmente puede alcanzar 2500-3000HV, es un recubrimiento duro excelente.

2. Resistencia al desgaste: el recubrimiento TaC es muy resistente al desgaste, lo que puede reducir eficazmente el desgaste y el daño de las piezas mecánicas durante el uso.

3. Buena resistencia a altas temperaturas: el recubrimiento TaC también puede mantener su excelente rendimiento en ambientes de alta temperatura.

4. Buena estabilidad química: el recubrimiento de TaC tiene buena estabilidad química y puede resistir muchas reacciones químicas, como ácidos y bases.

碳化钽涂层物理特性物理特性 Propiedades físicas de TaC revestimiento
密度/ Densidad	14,3 (g/cm³)
比辐射率 / Emisividad específica	0.3
热膨胀系数 / Coeficiente de expansión térmica	6.3 10^-6/K
努氏硬度/ Dureza (HK)	2000 Hong Kong
电阻 / Resistencia	1×10^-5 Ohmios*cm
热稳定性 / Estabilidad térmica	<2500℃
石墨尺寸变化 / Cambios de tamaño de grafito	-10~-20um
涂层厚度 / Espesor del revestimiento	Valor típico ≥20um (35um±10um)

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd es una empresa de alta tecnología que se centra en la producción y venta de materiales avanzados de alta gama, materiales y tecnología que cubren grafito, carburo de silicio, cerámica, tratamiento de superficies, etc. Los productos son ampliamente utilizados en fotovoltaica, semiconductores, nuevas energías, metalurgia, etc.

Nuestro equipo técnico proviene de las principales instituciones de investigación nacionales y puede brindarle soluciones de materiales más profesionales.

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