Susceptor de placa recubierta de TaC CVD

Breve descripción:

El susceptor de placa recubierta VET Energy CVD TaC es un producto de alto rendimiento diseñado para proporcionar un rendimiento consistente y confiable durante un período prolongado. Tiene muy buena resistencia al calor y uniformidad térmica, alta pureza y resistencia a la erosión, lo que la convierte en la solución perfecta para aplicaciones de procesamiento de obleas.


Detalle del producto

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ElRecubrimiento CVD TaCPlate Susceptor de vet-china está diseñado para un alto rendimiento en procesos de deposición química de vapor (CVD). Este susceptor presenta una robustaRecubrimiento de TaC (carburo de tantalio), que ofrece una estabilidad térmica, resistencia química y durabilidad excepcionales, lo que lo convierte en una solución ideal para la fabricación de semiconductores y aplicaciones de alta temperatura. ElRecubrimiento CVD TaCGarantiza una excelente resistencia a la oxidación y al desgaste, permitiendo al susceptor mantener su integridad y funcionamiento en ambientes hostiles.

veterinario-chinaRecubrimiento CVD TaCPlate Susceptor destaca por su capacidad para distribuir uniformemente el calor durante los procesos CVD, asegurando una deposición precisa de capas y mejorando la eficiencia de la fabricación de semiconductores. El recubrimiento Ta-C proporciona protección adicional contra la corrosión química, extendiendo la vida útil del susceptor y mejorando el rendimiento general. Con una combinación de tecnología avanzada de susceptor CVD y recubrimientos químicos TaC de alta calidad, este susceptor es un componente clave para industrias que requieren precisión y confiabilidad en entornos de alta temperatura.

Ya sea que se utilice en la producción de semiconductores u otras aplicaciones de alta tecnología, elSusceptor de placa recubierta de CVD TaCestá diseñado para satisfacer las demandas de la fabricación moderna. Respaldado por la reputación de innovación y calidad de Semicera, este producto ofrece un rendimiento superior y una larga durabilidad, lo que lo convierte en una opción confiable para los procesos CVD.

El recubrimiento TaC es un tipo de recubrimiento de carburo de tantalio (TaC) preparado mediante tecnología de deposición física de vapor y tiene las siguientes características:

1. Alta dureza: La dureza del recubrimiento TaC es alta, generalmente puede alcanzar 2500-3000HV, es un recubrimiento duro excelente.

2. Resistencia al desgaste: el recubrimiento TaC es muy resistente al desgaste, lo que puede reducir eficazmente el desgaste y el daño de las piezas mecánicas durante el uso.

3. Buena resistencia a altas temperaturas: el recubrimiento TaC también puede mantener su excelente rendimiento en ambientes de alta temperatura.

4. Buena estabilidad química: el recubrimiento de TaC tiene buena estabilidad química y puede resistir muchas reacciones químicas, como ácidos y bases.

Recubrimiento TaC13
Recubrimiento TaC10

碳化钽涂层物理特性物理特性

Propiedades físicas de TaC revestimiento

密度/ Densidad

14,3 (g/cm³)

比辐射率 / Emisividad específica

0.3

热膨胀系数 / Coeficiente de expansión térmica

6.3 10-6/K

努氏硬度/ Dureza (HK)

2000 Hong Kong

电阻 / Resistencia

1×10-5 Ohmios*cm

热稳定性 / Estabilidad térmica

<2500℃

石墨尺寸变化 / Cambios de tamaño de grafito

-10~-20um

涂层厚度 / Espesor del revestimiento

Valor típico ≥20um (35um±10um)

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd es una empresa de alta tecnología que se centra en la producción y venta de materiales avanzados de alta gama, materiales y tecnología que cubren grafito, carburo de silicio, cerámica, tratamiento de superficies, etc. Los productos son ampliamente utilizados en fotovoltaica, semiconductores, nuevas energías, metalurgia, etc.

Nuestro equipo técnico proviene de las principales instituciones de investigación nacionales y puede brindarle soluciones de materiales más profesionales.

Le damos una calurosa bienvenida a visitar nuestra fábrica, ¡discutamos más a fondo!

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