Susceptor recubierto de carburo de tantalio para oblea

Breve descripción:

Semicera es líder en tecnología de protección de materiales a altas temperaturas y estamos orgullosos de presentar productos de recubrimiento de carburo de tantalio (TaC) CVD para brindar una protección confiable a altas temperaturas para sus sustratos de grafito.El grafito es un material excelente resistente a altas temperaturas, pero es propenso a oxidarse a altas temperaturas, lo que no se puede evitar por completo ni siquiera en un horno de vacío.Nuestro recubrimiento CVD de carburo de tantalio (TaC) puede prevenir eficazmente la oxidación del sustrato de grafito mientras mantiene su excelente rendimiento a altas temperaturas.El TaC también es un material inerte que puede resistir reacciones con gases como el argón y el hidrógeno.Consulte a Semicera hoy para obtener más información sobre nuestros susceptores EPI recubiertos con CVD de carburo de tantalio para garantizar la estabilidad y confiabilidad de sus aplicaciones de alta temperatura.


Detalle del producto

Etiquetas de productos

El recubrimiento TaC es un tipo de recubrimiento de carburo de tantalio (TaC) preparado mediante tecnología de deposición física de vapor y tiene las siguientes características:

1. Alta dureza: La dureza del recubrimiento TaC es alta, generalmente puede alcanzar 2500-3000HV, es un recubrimiento duro excelente.

2. Resistencia al desgaste: el recubrimiento TaC es muy resistente al desgaste, lo que puede reducir eficazmente el desgaste y el daño de las piezas mecánicas durante el uso.

3. Buena resistencia a altas temperaturas: el recubrimiento TaC también puede mantener su excelente rendimiento en ambientes de alta temperatura.

4. Buena estabilidad química: el recubrimiento de TaC tiene buena estabilidad química y puede resistir muchas reacciones químicas, como ácidos y bases.

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Carburo de tantalio Recubrimiento CVD EPI Susceptor_Semicera (1)

碳化钽涂层物理特性物理特性

Propiedades físicas de TaC revestimiento

密度/ Densidad

14,3 (g/cm³)

比辐射率 / Emisividad específica

0.3

热膨胀系数 / Coeficiente de expansión térmica

6.3 10-6/K

努氏硬度/ Dureza (HK)

2000 Hong Kong

电阻 / Resistencia

1×10-5 Ohmios*cm

热稳定性 / Estabilidad térmica

<2500℃

石墨尺寸变化 / Cambios de tamaño de grafito

-10~-20um

涂层厚度 / Espesor del revestimiento

Valor típico ≥20um (35um±10um)

 

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd es una empresa de alta tecnología que se centra en la producción y venta de materiales avanzados de alta gama, materiales y tecnología que cubren grafito, carburo de silicio, cerámica, tratamiento de superficies, etc.Los productos son ampliamente utilizados en fotovoltaica, semiconductores, nuevas energías, metalurgia, etc.

Nuestro equipo técnico proviene de las principales instituciones de investigación nacionales y puede brindarle soluciones de materiales más profesionales.

Le damos una calurosa bienvenida a visitar nuestra fábrica, ¡discutamos más a fondo!

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