Barco/torre de oblea de SiC

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ProductoDdescripción

Los Wafer Boat de carburo de silicio se utilizan ampliamente como soporte de oblea en procesos de difusión a alta temperatura.

Ventajas:

Resistencia a altas temperaturas:uso normal a 1800 ℃

Alta conductividad térmica:equivalente al material de grafito

Alta dureza:dureza sólo superada por el diamante y el nitruro de boro

Resistencia a la corrosión:Los ácidos fuertes y los álcalis no presentan corrosión, la resistencia a la corrosión es mejor que la del carburo de tungsteno y la alúmina.

peso ligero:baja densidad, cerca del aluminio

Sin deformación: bajo coeficiente de expansión térmica

Resistencia al choque térmico:puede soportar cambios bruscos de temperatura, resistir choques térmicos y tiene un rendimiento estable

Propiedades físicas del SiC

Propiedad	Valor	Método
Densidad	3,21 g/cc	Fregadero-flotador y dimensión
Calor específico	0,66 J/g°K	Flash láser pulsado
Resistencia a la flexión	450MPa560MPa	Curva de 4 puntos, curvatura de punto RT4, 1300°
Dureza a la fractura	2,94 MPa·m1/2	Microindentación
Dureza	2800	Vicker's, carga de 500 g.
Módulo elástico Módulo de Young	450 GPa430 GPa	Curva de 4 puntos, curvatura RT4 pt, 1300 °C
Tamaño de grano	2 – 10 micras	SEM

Propiedades térmicas del SiC

Conductividad térmica	250 W/m°K	Método de flash láser, RT
Expansión Térmica (CTE)	4,5 x 10-6°K	Temperatura ambiente a 950 °C, dilatómetro de sílice