Anillo de grafito recubierto de carburo de silicio CVD

Breve descripción:

El anillo de grafito recubierto de carburo de silicio de VET Energy es un producto de alto rendimiento diseñado para proporcionar un rendimiento constante y confiable durante un período prolongado. Tiene muy buena resistencia al calor y uniformidad térmica, alta pureza y resistencia a la erosión, lo que la convierte en la solución perfecta para aplicaciones de procesamiento de obleas.

Envíanos un correo electrónico Descargar como PDF

Detalle del producto

Etiquetas de producto

Propiedades típicas del material base de grafito:

Densidad aparente:	1,85 g/cm3
Resistividad eléctrica:	11 µΩm
Resistencia a la flexión:	49 MPa (500 kgf/cm2)
Dureza de la orilla:	58
Ceniza:	<5 ppm
Conductividad térmica:	116 W/mK (100 kcal/mhr-℃)

Suministramos diversos susceptores y componentes de grafito para todos los reactores de epitaxia actuales. Nuestros productos incluyen susceptores de barril para unidades LPE, susceptores tipo pancake para unidades LPE, CSD y Gemini, y susceptores de oblea única para unidades aplicadas y ASM.

Al combinar sólidas asociaciones con los principales fabricantes de equipos originales, experiencia en materiales y conocimientos de fabricación, vet ofrece el diseño óptimo para su aplicación.

FP Energía es elfabricante real de productos personalizados de grafito y carburo de silicio con revestimiento CVD,puede suministrarvariosPiezas personalizadas para la industria de semiconductores y fotovoltaica. ONuestro equipo técnico proviene de las principales instituciones de investigación nacionales y puede proporcionar soluciones de materiales más profesionales.para ti.

FCaracterísticas de nuestros productos:

1. Resistencia a la oxidación a altas temperaturas hasta 1700℃.
2. Alta pureza yuniformidad térmica
3. Excelente resistencia a la corrosión: ácidos, álcalis, sales y reactivos orgánicos.
4. Alta dureza, superficie compacta, partículas finas.
5. Vida útil más larga y más duradera

ECV SiC薄膜基本物理性能 Propiedades físicas básicas de CVD SiCrevestimiento
性质 / Propiedad	典型数值 / Valor típico
晶体结构 / Estructura cristalina	Fase β de la FCC多晶，主要为（111）取向
密度 / Densidad	3,21 g/cm³
硬度 / Dureza	2500 libras (carga de 500 g)
晶粒大小 / Tamaño del grano	2~10μm
纯度 / Pureza Química	99,99995%
热容 / Capacidad calorífica	640 J·kg^-1·k^-1
升华温度 / Temperatura de sublimación	2700 ℃
抗弯强度 / Resistencia a la flexión	415 MPa RT de 4 puntos
杨氏模量 / Módulo de Young	Curva de 430 Gpa 4 puntos, 1300 ℃
导热系数 / TermayoConductividad	300W·m^-1·k^-1
热膨胀系数 / Expansión Térmica (CTE)	4,5×10^-6K^-1