Revestimiento de SiC/sustrato de grafito recubierto/bandeja para semiconductores

Recubrimiento de SiC/Sustrato de grafito recubierto/Bandeja para semiconductores Imagen destacada

Breve descripción:

El susceptor de grafito recubierto de SiC para crecimiento epitaxial de VET Energy es un producto de alto rendimiento diseñado para proporcionar un rendimiento consistente y confiable durante un período prolongado. Tiene muy buena resistencia al calor y uniformidad térmica, alta pureza y resistencia a la erosión, lo que la convierte en la solución perfecta para aplicaciones de procesamiento de obleas.

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Recubrimiento de SiC/recubierto de susceptor de grafito para semiconductores

ElSustrato de grafito recubierto de SiCes una solución altamente duradera y eficiente diseñada para satisfacer las rigurosas demandas de la industria de procesamiento de semiconductores. Con una capa de alta pureza.revestimiento de carburo de silicio (SiC), este sustrato ofrece una estabilidad térmica excepcional, resistencia a la oxidación y una vida útil prolongada, lo que lo hace ideal para aplicaciones en procesos MOCVD, portadores de obleas de grafito y otros entornos de alta temperatura.

Características:
· Excelente resistencia al choque térmico
· Excelente resistencia a los golpes físicos
· Excelente resistencia química
· Pureza súper alta
· Disponibilidad en forma compleja
·Utilizable bajo atmósfera oxidante

Solicitud:

Características y ventajas del producto:

1. Resistencia térmica superior:Con una alta purezaRecubrimiento de SiC, el sustrato resiste temperaturas extremas, lo que garantiza un rendimiento constante en entornos exigentes como epitaxia y fabricación de semiconductores.

2. Durabilidad mejorada:Los componentes de grafito recubiertos de SiC están diseñados para resistir la corrosión y oxidación química, lo que aumenta la vida útil del sustrato en comparación con los sustratos de grafito estándar.

3. Grafito revestido vítreo:La estructura vítrea única de laRecubrimiento de SiCProporciona una excelente dureza superficial, minimizando el desgaste durante el procesamiento a alta temperatura.

4. Recubrimiento de SiC de alta pureza:Nuestro sustrato garantiza una contaminación mínima en procesos de semiconductores sensibles, ofreciendo confiabilidad para industrias que requieren una pureza estricta del material.

5. Aplicación en un amplio mercado:ElSusceptor de grafito recubierto de SiCEl mercado continúa creciendo a medida que aumenta la demanda de productos avanzados recubiertos de SiC en la fabricación de semiconductores, posicionando este sustrato como un actor clave tanto en el mercado de portadores de obleas de grafito como en el mercado de bandejas de grafito recubiertas de carburo de silicio.

Propiedades típicas del material base de grafito:

Densidad aparente:	1,85 g/cm3
Resistividad eléctrica:	11 µΩm
Resistencia a la flexión:	49 MPa (500 kgf/cm2)
Dureza de la orilla:	58
Ceniza:	<5 ppm
Conductividad térmica:	116 W/mK (100 kcal/mhr-℃)

ECV SiC薄膜基本物理性能 Propiedades físicas básicas de CVD SiCrevestimiento
性质 / Propiedad	典型数值 / Valor típico
晶体结构 / Estructura cristalina	Fase β de la FCC 多晶，主要为（111）取向
密度 / Densidad	3,21 g/cm³
硬度 / Dureza	2500 libras (carga de 500 g)
晶粒大小 / Tamaño del grano	2~10μm
纯度 / Pureza química	99,99995%
热容 / Capacidad calorífica	640 J·kg^-1·k^-1
升华温度 / Temperatura de sublimación	2700 ℃
抗弯强度 / Resistencia a la flexión	415 MPa RT de 4 puntos
杨氏模量 / Módulo de Young	Curva de 430 Gpa 4 puntos, 1300 ℃
导热系数 / Conductividad térmica	300W·m^-1·k^-1
热膨胀系数 / Expansión térmica (CTE)	4,5×10^-6K^-1

VET Energy es el verdadero fabricante de productos personalizados de grafito y carburo de silicio con diferentes recubrimientos como recubrimiento de SiC, recubrimiento de TaC, recubrimiento de carbón vítreo, recubrimiento de carbón pirolítico, etc., y puede suministrar varias piezas personalizadas para la industria fotovoltaica y de semiconductores.

Nuestro equipo técnico proviene de las principales instituciones de investigación nacionales y puede brindarle soluciones de materiales más profesionales.

Desarrollamos continuamente procesos avanzados para proporcionar materiales más avanzados y hemos desarrollado una tecnología patentada exclusiva que puede hacer que la unión entre el recubrimiento y el sustrato sea más estrecha y menos propensa a desprenderse.

Le damos una calurosa bienvenida a visitar nuestra fábrica, ¡discutamos más a fondo!