El portador de recubrimiento de SiC para RTP/RTA es un componente clave utilizado en los procesos de fabricación de semiconductores llamados procesamiento térmico rápido y recocido. Utilizamos nuestra tecnología patentada para fabricar el portador de carburo de silicio con una pureza extremadamente alta, buena uniformidad de recubrimiento y una excelente vida útil. así como propiedades de alta resistencia química y estabilidad térmica.
Características de nuestros productos:
1. Resistencia a la oxidación a altas temperaturas hasta 1700 ℃.
2. Alta pureza y uniformidad térmica.
3. Excelente resistencia a la corrosión: ácidos, álcalis, sales y reactivos orgánicos.
4. Alta dureza, superficie compacta, partículas finas.
5. Vida útil más larga y más duradera
| ECV SiC薄膜基本物理性能 Propiedades físicas básicas de CVD SiCrevestimiento | |
| 性质 / Propiedad | 典型数值 / Valor típico |
| 晶体结构 / Estructura cristalina | Fase β de la FCC多晶，主要为（111）取向 |
| 密度 / Densidad | 3,21 g/cm³ |
| 硬度 / Dureza | 2500 libras (carga de 500 g) |
| 晶粒大小 / Tamaño del grano | 2~10μm |
| 纯度 / Pureza Química | 99,99995% |
| 热容 / Capacidad calorífica | 640 J·kg-1·k-1 |
| 升华温度 / Temperatura de sublimación | 2700 ℃ |
| 抗弯强度 / Resistencia a la flexión | 415 MPa RT de 4 puntos |
| 杨氏模量 / Módulo de Young | Curva de 430 Gpa 4 puntos, 1300 ℃ |
| 导热系数 / TermayoConductividad | 300W·m-1·k-1 |
| 热膨胀系数 / Expansión Térmica (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
VET Energy es el verdadero fabricante de productos personalizados de grafito y carburo de silicio con diferentes recubrimientos como recubrimiento de SiC, recubrimiento de TaC, recubrimiento de carbón vítreo, recubrimiento de carbón pirolítico, etc., y puede suministrar varias piezas personalizadas para la industria fotovoltaica y de semiconductores.
Nuestro equipo técnico proviene de las principales instituciones de investigación nacionales y puede brindarle soluciones de materiales más profesionales.
Desarrollamos continuamente procesos avanzados para proporcionar materiales más avanzados y hemos desarrollado una tecnología patentada exclusiva que puede hacer que la unión entre el recubrimiento y el sustrato sea más estrecha y menos propensa a desprenderse.
Le damos una calurosa bienvenida a visitar nuestra fábrica, ¡discutamos más a fondo!
