Bandeja de carga PECVD Bandeja de grafito de deposición

Bandeja de carga PECVD Bandeja de grafito para deposición Imagen destacada

Breve descripción:

La bandeja de carga PECVD de VET Energy está diseñada para proporcionar un soporte seguro y uniforme para las obleas durante la deposición, mejorando la consistencia y la calidad del proceso de deposición. Con su excelente resistencia al calor, la bandeja de grafito ayuda a mantener un ambiente controlado dentro de las cámaras PECVD, lo que reduce el riesgo de contaminación y garantiza una alta eficiencia del proceso.

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Detalle del producto

Etiquetas de producto

La bandeja de carga VET Energy PECVD es un portador de precisión diseñado para el proceso PECVD (deposición química de vapor mejorada por plasma). Esta bandeja de grafito de deposición de alta calidad está hecha de material de grafito de alta pureza y densidad. Tiene excelente resistencia a altas temperaturas, resistencia a la corrosión, estabilidad dimensional y otras características. Puede proporcionar una plataforma portadora estable para el proceso PECVD y garantizar la uniformidad y planitud de la deposición de la película.

Las bandejas de carga VET Energy PECVD se utilizan ampliamente en semiconductores, fotovoltaica, LED y otros campos. Por ejemplo:

▪ Semiconductor: proceso PECVD para materiales semiconductores como obleas de silicio y obleas epitaxiales.

▪ Fotovoltaica: proceso PECVD para películas delgadas de células solares.

▪ LED: Proceso PECVD para chips LED.

Ventajas del producto

▪Mejorar la calidad de la película:Asegure una deposición uniforme de la película y mejore la calidad de la película.

▪Prolongar la vida útil del equipo:Excelente resistencia a la corrosión, prolonga la vida útil de los equipos PECVD.

▪Reducir los costos de producción:Las bandejas de grafito de alta calidad pueden reducir la tasa de desechos y reducir los costos de producción.

Material de grafito de SGL:

Parámetro típico: R6510
Índice	Estándar de prueba	Valor	Unidad
Tamaño medio de grano	ISO 13320	10	μm
densidad aparente	DIN IEC 60413/204	1,83	gramos/cm³
Porosidad abierta	DIN66133	10	%
Tamaño de poro medio	DIN66133	1.8	μm
Permeabilidad	DIN 51935	0,06	cm²/s
Dureza Rockwell HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Resistividad eléctrica específica	DIN IEC 60413/402	13	µΩm
Resistencia a la flexión	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Fuerza compresiva	DIN 51910	130	MPa
módulo de Young	DIN 51915	11,5×10³	MPa
Expansión térmica (20-200 ℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Conductividad térmica (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Está diseñado específicamente para la fabricación de células solares de alta eficiencia y admite el procesamiento de obleas de gran tamaño G12. El diseño optimizado del transportador aumenta significativamente el rendimiento, lo que permite mayores tasas de rendimiento y menores costos de producción.

Artículo	Tipo	Número de portador de oblea
Barco PEVCD Grephite - La serie 156	156-13 barco de grefito	144
	156-19 barco de grefito	216
	156-21 barco de grefito	240
	156-23 barco de grafito	308
Barco PEVCD Grephite - La serie 125	Barco de grefito 125-15	196
	Barco de grefito 125-19	252
	Barco de grafito 125-21	280