Soporte de oblea de sustrato de grafito para PECVD

Breve descripción:

El soporte de sustrato de grafito de VET Energy está diseñado para mantener la alineación y la estabilidad de la oblea durante todo el proceso PECVD, previniendo la contaminación y minimizando el riesgo de daños. El soporte para obleas de grafito proporciona una plataforma segura y uniforme, lo que garantiza que las obleas queden expuestas uniformemente al plasma para una deposición consistente y de alta calidad. Con su alta conductividad térmica y resistencia excepcional, este soporte ayuda a mejorar la eficiencia general del proceso y el rendimiento del producto.

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Detalle del producto

Etiquetas de producto

El soporte para oblea de sustrato de grafito VET Energy es un soporte de precisión diseñado para el proceso PECVD (deposición química de vapor mejorada por plasma). Este soporte de sustrato de grafito de alta calidad está hecho de material de grafito de alta pureza y alta densidad, con excelente resistencia a altas temperaturas, resistencia a la corrosión, estabilidad dimensional y otras características. Puede proporcionar una plataforma de soporte estable para el proceso PECVD y garantizar la uniformidad y planitud de la deposición de la película.

La mesa soporte de oblea de grafito de proceso VET Energy PECVD tiene las siguientes características:

▪Alta pureza:Contenido de impurezas extremadamente bajo, evita la contaminación de la película y garantiza la calidad de la película.

▪Densidad alta:alta densidad, alta resistencia mecánica, puede soportar entornos PECVD de alta temperatura y alta presión.

▪Buena estabilidad dimensional:Pequeño cambio dimensional a alta temperatura, asegurando la estabilidad del proceso.

▪Excelente conductividad térmica:transfiere calor de manera efectiva para evitar el sobrecalentamiento de la oblea.

▪Fuerte resistencia a la corrosión:Puede resistir la erosión por diversos gases corrosivos y plasma.

▪Servicio personalizado:Se pueden personalizar mesas de soporte de grafito de diferentes tamaños y formas según las necesidades del cliente.

Ventajas del producto

▪Mejorar la calidad de la película:Asegure una deposición uniforme de la película y mejore la calidad de la película.

▪Prolongar la vida útil del equipo:Excelente resistencia a la corrosión, prolonga la vida útil de los equipos PECVD.

▪Reducir los costos de producción:Las bandejas de grafito de alta calidad pueden reducir la tasa de desechos y reducir los costos de producción.

Material de grafito de SGL:

Parámetro típico: R6510
Índice	Estándar de prueba	Valor	Unidad
Tamaño medio de grano	ISO 13320	10	μm
densidad aparente	DIN IEC 60413/204	1,83	gramos/cm³
Porosidad abierta	DIN66133	10	%
Tamaño de poro medio	DIN66133	1.8	μm
Permeabilidad	DIN 51935	0,06	cm²/s
Dureza Rockwell HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Resistividad eléctrica específica	DIN IEC 60413/402	13	µΩm
Resistencia a la flexión	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Fuerza compresiva	DIN 51910	130	MPa
módulo de Young	DIN 51915	11,5×10³	MPa
Expansión térmica (20-200 ℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Conductividad térmica (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Está diseñado específicamente para la fabricación de células solares de alta eficiencia y admite el procesamiento de obleas de gran tamaño G12. El diseño optimizado del transportador aumenta significativamente el rendimiento, lo que permite mayores tasas de rendimiento y menores costos de producción.

Artículo	Tipo	Número de portador de oblea
Barco PEVCD Grephite - La serie 156	156-13 barco de grefito	144
	156-19 barco de grefito	216
	156-21 barco de grefito	240
	156-23 barco de grafito	308
Barco PEVCD Grephite - La serie 125	Barco de grefito 125-15	196
	Barco de grefito 125-19	252
	Barco de grafito 125-21	280