Barco PECVD de grafito de alta pureza para paneles solares
Descripción
1). Adoptado para eliminar la tecnología de “lentes de color”, para asegurarse sin “lentes de color” durante el proceso a largo plazo.
2). Hecho de material de grafito importado SGL con alta pureza, bajo contenido de impurezas y alta resistencia.
3). Utilizando 99,9% de cerámica para el ensamblaje cerámico con un fuerte rendimiento resistente a la corrosión y a prueba de golpes.
4). Utilizar equipos de procesamiento de precisión para garantizar la precisión de cada pieza.
Especificación
Artículo | Tipo | Número de portador de oblea |
Barco de grafito PECVD — La serie 156 | 156-13 barco de grafito | 144 |
156-19 barco de grafito | 216 | |
156-21 barco de grafito | 240 | |
156-23 barco de grafito | 308 | |
Barco de grafito PECVD — La serie 125 | Barco grafito 125-15 | 196 |
Barco grafito 125-19 | 252 | |
Barco grafito 125-21 | 280 |
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