Barco de oblea de grafito para deposición

Breve descripción:

El barco de oblea de grafito VET Energy es un consumible de alta calidad diseñado para procesos de deposición en industrias de semiconductores, fotovoltaicas y otras. Hecho de material de grafito de alta pureza y alta densidad, este producto tiene una excelente resistencia a altas temperaturas, resistencia a la corrosión, estabilidad dimensional y otras características, y puede proporcionar una plataforma portadora estable para el proceso de deposición para garantizar la uniformidad y planitud de la deposición de película delgada. .

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Detalle del producto

Etiquetas de producto

El barco de grafito PECVD de VET Energy está fabricado con grafito isostático de alta pureza, con una porosidad inferior al 15% y una rugosidad superficial Ra≤1,6μm. La estabilidad dimensional y la conductividad térmica superiores garantizan una deposición uniforme de la película y una mayor eficiencia de la celda.

Material de grafito de SGL:

Parámetro típico: R6510
Índice	Estándar de prueba	Valor	Unidad
Tamaño medio de grano	ISO 13320	10	μm
densidad aparente	DIN IEC 60413/204	1,83	gramos/cm³
Porosidad abierta	DIN66133	10	%
Tamaño de poro medio	DIN66133	1.8	μm
Permeabilidad	DIN 51935	0,06	cm²/s
Dureza Rockwell HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Resistividad eléctrica específica	DIN IEC 60413/402	13	µΩm
Resistencia a la flexión	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Fuerza compresiva	DIN 51910	130	MPa
módulo de Young	DIN 51915	11,5×10³	MPa
Expansión térmica (20-200 ℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Conductividad térmica (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Está diseñado específicamente para la fabricación de células solares de alta eficiencia y admite el procesamiento de obleas de gran tamaño G12. El diseño optimizado del transportador aumenta significativamente el rendimiento, lo que permite mayores tasas de rendimiento y menores costos de producción.

Artículo	Tipo	Número de portador de oblea
Barco PEVCD Grephite - La serie 156	156-13 barco de grefito	144
	156-19 barco de grefito	216
	156-21 barco de grefito	240
	156-23 barco de grafito	308
Barco PEVCD Grephite - La serie 125	Barco de grefito 125-15	196
	Barco de grefito 125-19	252
	Barco de grafito 125-21	280