Portador de grafito para proceso PECVD

Portador de grafito para el proceso PECVD Imagen destacada

Breve descripción:

FP EnergíaEl barco de grafito PECVD para paneles solares es un componente avanzado diseñado específicamente para la producción de paneles solares de alto rendimiento. Utilizado en procesos de deposición química de vapor mejorada por plasma (PECVD), este barco de grafito garantiza un manejo óptimo del material y una deposición uniforme de películas delgadas sobre células solares. Diseñado para brindar precisión y durabilidad, proporciona una conductividad térmica superior, alta resistencia a la corrosión y contaminación mínima, que son esenciales para la producción de paneles solares eficientes y de alta calidad.

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Detalle del producto

Etiquetas de producto

FP EnergíaEl portador de grafito del proceso PECVD es un consumible de alta calidad diseñado para el proceso PECVD (deposición química de vapor mejorada por plasma). Este soporte de grafito está hecho de material de grafito de alta pureza y alta densidad, con excelente resistencia a altas temperaturas, resistencia a la corrosión, estabilidad dimensional y otras características, puede proporcionar una plataforma de soporte estable para el proceso PECVD, para garantizar la uniformidad y planitud de la película delgada. declaración.

Los portadores de grafito para el proceso PECVD tienen las siguientes características:

▪ Alta pureza: contenido de impurezas extremadamente bajo, evitando la contaminación de la película y asegurando la calidad de la misma.

▪ Alta densidad: alta densidad, alta resistencia mecánica, capaz de soportar ambientes PECVD de alta temperatura y alta presión.

▪ Buena estabilidad dimensional: pequeño cambio dimensional a alta temperatura, asegurando la estabilidad del proceso.

▪ Excelente conductividad térmica: transfiere eficazmente el calor para evitar el sobrecalentamiento de la oblea.

▪ Fuerte resistencia a la corrosión: capaz de resistir la erosión por diversos gases corrosivos y plasma.

▪ Servicio personalizado: se pueden personalizar soportes de grafito de diferentes tamaños y formas según las necesidades del cliente.

Material de grafito de SGL:

Parámetro típico: R6510
Índice	Estándar de prueba	Valor	Unidad
Tamaño medio de grano	ISO 13320	10	μm
densidad aparente	DIN IEC 60413/204	1,83	gramos/cm³
Porosidad abierta	DIN66133	10	%
Tamaño de poro medio	DIN66133	1.8	μm
Permeabilidad	DIN 51935	0,06	cm²/s
Dureza Rockwell HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Resistividad eléctrica específica	DIN IEC 60413/402	13	µΩm
Resistencia a la flexión	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Fuerza compresiva	DIN 51910	130	MPa
módulo de Young	DIN 51915	11,5×10³	MPa
Expansión térmica (20-200 ℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Conductividad térmica (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Está diseñado específicamente para la fabricación de células solares de alta eficiencia y admite el procesamiento de obleas de gran tamaño G12. El diseño optimizado del transportador aumenta significativamente el rendimiento, lo que permite mayores tasas de rendimiento y menores costos de producción.

Artículo	Tipo	Número de portador de oblea
Barco PEVCD Grephite - La serie 156	156-13 barco de grefito	144
	156-19 barco de grefito	216
	156-21 barco de grefito	240
	156-23 barco de grafito	308
Barco PEVCD Grephite - La serie 125	Barco de grefito 125-15	196
	Barco de grefito 125-19	252
	Barco de grafito 125-21	280