Anillos de segmento de grafito con revestimiento de carburo de tantalio

Breve descripción:

La popularidad de las obleas de carburo de silicio (SiC) de 8 pulgadas ha hecho que los requisitos de temperatura de los procesos de semiconductores sean más estrictos.Sin embargo, los materiales base tradicionales no pueden resistir la prueba de ambientes de alta temperatura y son propensos a la sublimación y daños al proceso epitaxial.Afortunadamente, los productos de carburo de tantalio (TaC) CvD de Semicera le brindan una solución confiable.Nuestro carburo de tantalio (TaC) tiene una excelente resistencia a altas temperaturas, puede soportar temperaturas extremas de hasta 2300 grados Celsius y proporciona una vida útil más larga.Comuníquese con Semicera hoy para obtener más información sobre nuestras soluciones avanzadas, incluidas opciones personalizadas para placas de cubierta recubiertas de carburo de tantalio.

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Detalle del producto

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El recubrimiento TaC es un tipo de recubrimiento de carburo de tantalio (TaC) preparado mediante tecnología de deposición física de vapor y tiene las siguientes características:

1. Alta dureza: La dureza del recubrimiento TaC es alta, generalmente puede alcanzar 2500-3000HV, es un recubrimiento duro excelente.

2. Resistencia al desgaste: el recubrimiento TaC es muy resistente al desgaste, lo que puede reducir eficazmente el desgaste y el daño de las piezas mecánicas durante el uso.

3. Buena resistencia a altas temperaturas: el recubrimiento TaC también puede mantener su excelente rendimiento en ambientes de alta temperatura.

4. Buena estabilidad química: el recubrimiento de TaC tiene buena estabilidad química y puede resistir muchas reacciones químicas, como ácidos y bases.

碳化钽涂层物理特性物理特性 Propiedades físicas de TaC revestimiento
密度/ Densidad	14,3 (g/cm³)
比辐射率 / Emisividad específica	0.3
热膨胀系数 / Coeficiente de expansión térmica	6.3 10^-6/K
努氏硬度/ Dureza (HK)	2000 Hong Kong
电阻 / Resistencia	1×10^-5 Ohmios*cm
热稳定性 / Estabilidad térmica	<2500℃
石墨尺寸变化 / Cambios de tamaño de grafito	-10~-20um
涂层厚度 / Espesor del revestimiento	Valor típico ≥20um (35um±10um)

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd es una empresa de alta tecnología que se centra en la producción y venta de materiales avanzados de alta gama, materiales y tecnología que cubren grafito, carburo de silicio, cerámica, tratamiento de superficies, etc.Los productos son ampliamente utilizados en fotovoltaica, semiconductores, nuevas energías, metalurgia, etc.

Nuestro equipo técnico proviene de las principales instituciones de investigación nacionales y puede brindarle soluciones de materiales más profesionales.

Le damos una calurosa bienvenida a visitar nuestra fábrica, ¡discutamos más a fondo!