VET EnergioPECVD-grafitboato por sunĉeloj estas kernkonsumebla desegnita por la PECVD (plasma plifortigita kemia vapordemetado) procezo de sunĉeloj. La grafita boato estas farita el altpura izostatika grafito kun poreco de malpli ol 15% kaj surfaca malglateco de Ra≤1.6μm. Ĝi havas bonegajn proprietojn kiel alta temperatura rezisto, koroda rezisto kaj dimensia stabileco. Bonega dimensia stabileco kaj termika kondukteco certigas uniforman filman deponadon kaj plibonigas la efikecon de la kuirilaro. Ĝi povas provizi stabilan portanton en alt-temperatura kaj altprema PECVD-medio por certigi unuforman deponadon kaj altan kvaliton de sunĉelaj filmoj.
Grafita materialo de SGL:
| Tipa parametro: R6510 | |||
| Indekso | Testnormo | Valoro | Unuo |
| Meza grajnograndeco | ISO 13320 | 10 | μm |
| Granda denseco | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | g/cm3 |
| Malferma poreco | DIN66133 | 10 | % |
| Meza pora grandeco | DIN66133 | 1.8 | μm |
| Permeablo | DIN 51935 | 0.06 | cm²/s |
| Rockwell-malmoleco HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| Specifa elektra resistiveco | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
| Fleksa forto | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
| Kunprema forto | DIN 51910 | 130 | MPa |
| Modulo de Young | DIN 51915 | 11.5×10³ | MPa |
| Termika ekspansio (20-200 ℃) | DIN 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
| Termika konduktivo (20 ℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
Ĝi estas specife desegnita por alt-efikeca sunĉela fabrikado, subtenante G12-grand-grandan oblatan prilaboradon. Optimumigita portanto-dezajno signife pliigas trairon, ebligante pli altajn rendimentajn indicojn kaj pli malaltajn produktokostojn.
| Ero | Tajpu | Nombra oblaportilo |
| PEVCD Grephite boato - La 156 serio | 156-13 grefita boato | 144 |
| 156-19 grefita boato | 216 | |
| 156-21 grefita boato | 240 | |
| 156-23 grafita boato | 308 | |
| PEVCD Grephite boato - La 125 serio | 125-15 grefita boato | 196 |
| 125-19 grefita boato | 252 | |
| 125-21 grphite boato | 280 |
