VET EnergioPECVD-proceza grafitportilo estas altkvalita konsumebla tajlorita por PECVD (plasmo-plifortigita kemia vapordemetado). Ĉi tiu grafita portanto estas farita el altpura, alt-denseca grafita materialo, kun bonega alta temperaturrezisto, koroda rezisto, dimensia stabileco kaj aliaj karakterizaĵoj, povas provizi stabilan portantan platformon por PECVD-procezo, por certigi la unuformecon kaj platecon de maldika filmo. depozicio.
Grafitportiloj por PECVD-procezo havas la sekvajn karakterizaĵojn:
▪ Alta pureco: ekstreme malalta malpura enhavo, evitante poluadon de la filmo kaj certigante filmo-kvaliton.
▪ Alta denseco: alta denseco, alta mekanika forto, kapabla rezisti altan temperaturon kaj altan premon PECVD-medio.
▪ Bona dimensia stabileco: malgranda dimensia ŝanĝo ĉe alta temperaturo, certigante procezan stabilecon.
▪ Bonega termika kondukteco: efike translokigu varmegon por malhelpi oblatan supervarmiĝon.
▪ Forta koroda rezisto: kapabla rezisti erozion de diversaj korodaj gasoj kaj plasmo.
▪ Agordita servo: grafitaj portantoj de malsamaj grandecoj kaj formoj povas esti personecigitaj laŭ klientaj bezonoj.
Grafita materialo de SGL:
Tipa parametro: R6510 | |||
Indekso | Testnormo | Valoro | Unuo |
Meza grajnograndeco | ISO 13320 | 10 | μm |
Granda denseco | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | g/cm3 |
Malferma poreco | DIN66133 | 10 | % |
Meza pora grandeco | DIN66133 | 1.8 | μm |
Permeablo | DIN 51935 | 0.06 | cm²/s |
Rockwell-malmoleco HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
Specifa elektra resistiveco | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
Fleksa forto | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
Kunprema forto | DIN 51910 | 130 | MPa |
Modulo de Young | DIN 51915 | 11.5×10³ | MPa |
Termika ekspansio (20-200 ℃) | DIN 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
Termika konduktivo (20 ℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
Ĝi estas specife desegnita por alt-efikeca sunĉela fabrikado, subtenante G12-grand-grandan oblatan prilaboradon. Optimumigita portanto-dezajno signife pliigas trairon, ebligante pli altajn rendimentajn indicojn kaj pli malaltajn produktokostojn.
Ero | Tajpu | Nombra oblaportilo |
PEVCD Grephite boato - La 156 serio | 156-13 grefita boato | 144 |
156-19 grefita boato | 216 | |
156-21 grefita boato | 240 | |
156-23 grafita boato | 308 | |
PEVCD Grephite boato - La 125 serio | 125-15 grefita boato | 196 |
125-19 grefita boato | 252 | |
125-21 grphite boato | 280 |