Kiel la portanto de normalaj siliciaj oblatoj en la produktado de tega procezo, lagrafita boatohavas multajn boatoblatojn kun certa intervalo en la strukturo, kaj estas tre mallarĝa spaco inter du apudaj boatoblatoj, kaj siliciaj oblatoj estas metitaj ambaŭflanke de la malplena pordo.
Ĉar grafito, la materialo de la grafitboato, havas bonan konduktivecon kaj termikan konduktivecon, AC-tensio estas aplikata inter du apudaj boatoj por formi pozitivajn kaj negativajn elektrodojn. Kiam estas certa aerpremo kaj gaso en la kamero, brila senŝargiĝo okazas inter la du boatoj. La brila malŝarĝo povas malkomponi SiH4 kaj NH3-gason en la spaco, formi Si kaj N-jonojn, kaj kombini por formi SiNx-molekulojn Ĝi estas deponita sur la surfaco de silicia oblato por atingi la celon de tegaĵo.
Kiel portanto de sunĉela kontraŭreflekta tegaĵo, la strukturo kaj grandeco de grafita boato rekte influas la konvertan efikecon kaj produktan efikecon de silicioblato. Post jaroj da teknika esplorado kaj disvolviĝo, VET-Energio nun havas altnivelajn produktajn ekipaĵojn, maturajn teknologiajn projektistojn kaj spertan produktadpersonaron, kaj la materialoj estas importitaj krudaĵoj. Nuntempe, la grafita boato fabrikita de nia kompanio havas la avantaĝojn de alta efikeco. La strukturo estas simpla kaj la distanco inter la grafita boato estas racia, kio faras la tegaĵon de la silicia oblato uniforma, plibonigas la kvaliton de la.silicioblato, kaj faras la sunenergian konvertan efikecon alta. VET Energy havas ĉiajn inkajn boatojn, kiujn la merkato bezonas nun.
Alta Pureco PECVD Grafita Boato por Suna Panelo
Afiŝtempo: Apr-08-2021