UV Pretigo por Fan-Out Wafer-Level Packaging

Fan out wafer level package (FOWLP) estas kostefika metodo en la duonkondukta industrio. Sed la tipaj kromefikoj de ĉi tiu procezo estas deformado kaj blato-kompenso. Malgraŭ la kontinua plibonigo de oblatnivelo kaj panelnivela ventumila teknologio, ĉi tiuj aferoj ligitaj al muldado daŭre ekzistas.

Varpiĝo estas kaŭzita de kemia ŝrumpado de likva kunprema muldaĵo (LCM) dum resaniĝo kaj malvarmigo post muldado. La dua kialo de deformado estas la miskongruo en koeficiento de termika ekspansio (CTE) inter la silicia blato, muldmaterialo, kaj substrato. Ofseto estas pro la fakto, ke viskozaj muldaj materialoj kun alta plenigaĵo povas kutime esti uzataj nur sub alta temperaturo kaj alta premo. Ĉar la blato estas fiksita al la portanto per provizora ligo, pliiĝanta temperaturo moligos la gluon, tiel malfortigante ĝian gluforton kaj reduktante ĝian kapablon fiksi la blaton. La dua kialo de la ofseto estas ke la premo necesa por muldado kreas streson sur ĉiu blato.

Por trovi solvojn al ĉi tiuj defioj, DELO faris realigeblo-studon ligante simplan analogan blaton al portanto. Laŭ aranĝo, la portanta oblato estas kovrita per provizora liga gluaĵo, kaj la blato estas metita vizaĝo malsupren. Poste, la oblato estis muldita per malalta viskozeca DELO-gluo kaj resanigita kun ultraviola radiado antaŭ forigado de la portanta oblato. En tiaj aplikoj, altaj viskozecaj termofiksaj muldaj kunmetaĵoj estas tipe uzitaj.

640

DELO ankaŭ komparis la varpadon de termofiksaj muldaj materialoj kaj UV-resanigitaj produktoj en la eksperimento, kaj la rezultoj montris, ke tipaj muldaj materialoj disformiĝus dum la malvarmigo post termofiksiĝo. Sekve, uzi ĉambran temperaturon ultraviola resanigo anstataŭ hejtado resanigo povas multe redukti la efikon de termika ekspansio koeficient miskongruo inter la muldanta kunmetaĵo kaj la portanto, tiel minimumigante deformado laŭ la plej granda mezuro ebla.

La uzo de transviolaj kuracaj materialoj ankaŭ povas redukti la uzon de plenigaĵoj, tiel reduktante viskozecon kaj la modulon de Young. La viskozeco de la modela gluo uzita en la testo estas 35000 mPa · s, kaj la modulo de Young estas 1 GPa. Pro la foresto de hejtado aŭ alta premo sur la mulda materialo, blato-offseto povas esti minimumigita laŭ la plej granda mezuro ebla. Tipa muldaĵo havas viskozecon de proksimume 800000 mPa · s kaj modulon de Young en la intervalo de du ciferoj.

Ĝenerale, esplorado montris, ke uzi UV-resanigitajn materialojn por grand-area muldado estas utila por produkti blatgvidanton ventumi oblatan nivelan pakadon, dum minimumigante varpadon kaj pecetkompenson laŭ la plej granda mezuro ebla. Malgraŭ signifaj diferencoj en termikaj vastiĝkoeficientoj inter la materialoj uzitaj, tiu procezo daŭre havas multoblajn aplikojn pro la foresto de temperaturvario. Krome, UV-kuracado ankaŭ povas redukti resanigtempon kaj energikonsumon.

640

UV anstataŭ termika resanigo reduktas deformadon kaj mortŝanĝon en ventumila pakaĵo

Komparo de 12-colaj kovritaj oblatoj uzantaj termike resanigitan, altan plenigaĵon (A) kaj UV-resanigitan kunmetaĵon (B)


Afiŝtempo: Nov-05-2024
WhatsApp Enreta Babilejo!