Kiel montrite supre, estas tipa
La unua duono:
Hejta Elemento (hejta bobeno) : situanta ĉirkaŭ la forna tubo, kutime farita el rezistaj dratoj, uzata por varmigi la internon de la forna tubo.
Kvarca Tubo: La kerno de varma oksigena forno, farita el altpura kvarco, kiu povas elteni altajn temperaturojn kaj resti kemie inerta.
Gasa Nutrado: Lokita ĉe la supra aŭ flanko de la forna tubo, ĝi estas uzata por transporti oksigenon aŭ aliajn gasojn al la interno de la forna tubo.
SS Flange: komponantoj, kiuj konektas kvarco-tubojn kaj gas-liniojn, certigante la streĉecon kaj stabilecon de la konekto.
Gas Feed Lines: Pipoj kiuj ligas la MFC al la gasliverhaveno por gastranssendo.
MFC (Mass Flow Controller): Aparato kiu kontrolas la fluon de gaso ene de kvarctubo por precize reguligi la kvanton de gaso bezonata.
Vent: Uzita por eligi la ellasgason de ene de la fornotubo al la ekstero de la ekipaĵo.
Malsupra parto
Siliciaj Oblatoj en Tenilo: Siliciaj oblatoj estas enhavitaj en speciala Tenilo por certigi unuforman varmon dum oksigenado.
Oblato: Uzita por teni la silician oblaton kaj certigi, ke la silicia oblato restas stabila dum la procezo.
Piedestalo: Strukturo kiu tenas silician oblatan Tenilon, kutime faritan el alta temperaturo imuna materialo.
Lifto: Uzita por levi oblatojn en kaj el kvarctuboj por aŭtomata ŝarĝo kaj malŝarĝo de siliciaj oblatoj.
Wafer Transfer Roboto: lokita flanke de la forna tuba aparato, ĝi estas uzata por aŭtomate forigi la silician oblaton el la skatolo kaj meti ĝin en la forna tubo, aŭ forigi ĝin post prilaborado.
Kaseda Stokado-Karuselo: Kaseda stokado-karuselo estas uzata por stoki keston enhavantan siliciajn oblatojn kaj povas esti rotaciita por robotaliro.
Oblata kasedo: oblata kasedo estas uzata por stoki kaj translokigi la siliciajn oblatojn por esti prilaboritaj.
Afiŝtempo: Apr-22-2024