La ProgresintaSiC Cantilever Paddlepor Wafer Processing kreita de vet-china provizas bonegan solvon por semikonduktaĵfabrikado. Ĉi tiu kantilevra padelo estas farita el SiC (siliciokarbido) materialo, kaj ĝia alta malmoleco kaj varmorezisto ebligas al ĝi konservi bonegan rendimenton en alta temperaturo kaj koroda medio. La dezajno de la Cantilever Paddle permesas al la oblato esti fidinde subtenita dum prilaborado, reduktante la riskon de fragmentiĝo kaj damaĝo.
SiC Cantilever Paddleestas speciala komponanto uzata en semikonduktaĵa fabrikado de ekipaĵoj kiel oksigena forno, disvastiga forno kaj recozita forno, la ĉefa uzo estas por ŝarĝo kaj malŝarĝo de oblatoj, subtenas kaj transportas oblatojn dum alt-temperaturaj procezoj.
Komunaj strukturojdeSiCckontraŭlevilopaddle: Kantilevrostrukturo, fiksita ĉe unu fino kaj libera ĉe la alia, tipe havas platan kaj padel-similan dezajnon.
VET-Energio uzas altpurajn rekristaligitajn siliciajn karburajn materialojn por garantii la kvaliton.
| Fizikaj trajtoj de Rekristaligita Silicia Karbido | |
| Proprieto | Tipa Valoro |
| Labortemperaturo (°C) | 1600 °C (kun oksigeno), 1700 °C (reduktanta medio) |
| SiC enhavo | > 99,96% |
| Senpaga Si enhavo | < 0,1% |
| Granda denseco | 2,60-2,70 g/cm3 |
| Ŝajna poreco | < 16% |
| Kunprema forto | > 600MPa |
| Malvarma fleksa forto | 80-90 MPa (20 °C) |
| Varma fleksa forto | 90-100 MPa (1400 °C) |
| Termika ekspansio @1500°C | 4.70 10-6/°C |
| Termika kondukteco @1200°C | 23W/m•K |
| Elasta modulo | 240 GPa |
| Rezisto al termika ŝoko | Ege bona |
La avantaĝoj de Advanced SiC Cantilever Paddle de VET Energy por Wafer Processing estas:
-Alta temperatura stabileco: uzebla en medioj super 1600 °C;
-Malalta termika ekspansio-koeficiento: subtenas dimensian stabilecon, reduktante la riskon de varpado de oblato;
-Alta pureco: pli malalta risko de metala poluado;
-Kemia inerteco: koroda imuna, taŭga por diversaj gasaj medioj;
-Alta forto kaj malmoleco: Eluziĝo-rezista, longa servodaŭro;
-Bona termika kondukteco: helpas en unuforma hejtado de oblatoj.
