Ĉina Fabrikisto SiC Tegita Grafito MOCVD Epitaxy Susceptor

Mallonga Priskribo:

Pureco < 5ppm
‣ Bona dopa unuformeco
‣ Alta denseco kaj adhero
‣ Bona kontraŭkoroda kaj karbona rezisto

‣ Profesia personigo
‣ Mallonga plumbotempo
‣ Stabila provizo
‣ Kvalita kontrolo kaj kontinua plibonigo

Epitaksio de GaN sur Safiro(RGB/Mini/Micro LED);
Epitaksio de GaN sur Si Substrate(UVC);
Epitaksio de GaN sur Si Substrate(Elektronika Aparato);
Epitaksio de Si sur Si Substrate(Integra cirkvito);
Epitaksio de SiC sur SiC Substrate(Substrato);
Epitaksio de InP sur InP

Sendu retpoŝton al ni Elŝutu kiel PDF

Produkta Detalo

Produktaj Etikedoj

Altkvalita MOCVD Susceptor Aĉetu interrete en Ĉinio

Oblato devas pasi tra pluraj paŝoj antaŭ ol ĝi estas preta por uzo en elektronikaj aparatoj. Unu grava procezo estas silicia epitaksio, en kiu la oblatoj estas portitaj sur grafitaj susceptoroj. La trajtoj kaj kvalito de la susceptoroj havas decidan efikon al la kvalito de la epitaksa tavolo de la oblato.

Por maldikaj filmaj deponaĵfazoj kiel ekzemple epitaksio aŭ MOCVD, VET liveras ultra-puran grafitekipaĵon uzitan por apogi substratojn aŭ "oblatojn". Ĉe la kerno de la procezo, ĉi tiu ekipaĵo, epitaksiosubceptoroj aŭ satelitplatformoj por la MOCVD, unue estas submetitaj al la demetmedio:

Alta temperaturo.
Alta vakuo.
Uzo de agresemaj gasaj antaŭuloj.
Nula poluado, foresto de senŝeligado.
Rezisto al fortaj acidoj dum purigaj operacioj

VET Energy estas la vera fabrikisto de personigitaj grafito kaj siliciokarbido-produktoj kun tegaĵo por duonkonduktaĵo kaj fotovoltaeca industrio. Nia teknika teamo venas de ĉefaj hejmaj esploraj institucioj, povas provizi pli profesiajn materialajn solvojn por vi.

Ni senĉese disvolvas altnivelajn procezojn por provizi pli altnivelajn materialojn, kaj ellaboris ekskluzivan patentitan teknologion, kiu povas fari la ligon inter la tegaĵo kaj la substrato pli streĉa kaj malpli inklina al malligo.

Karakterizaĵoj de niaj produktoj:

1. Alta temperatura oksida rezisto ĝis 1700℃.
2. Alta pureco kaj termika unuformeco
3. Bonega koroda rezisto: acida, alkala, salo kaj organikaj reakciiloj.
4. Alta malmoleco, kompakta surfaco, fajnaj eroj.
5. Pli longa serva vivo kaj pli daŭra

CVD SiC薄膜基本物理性能 Bazaj fizikaj trajtoj de CVD SiCtegaĵo
性质 / Proprieto	典型数值 / Tipa Valoro
晶体结构 / Kristala Strukturo	FCC β-fazo多晶，主要为（111）取向
密度 / Denso	3,21 g/cm³
硬度 / Malmoleco	2500 维氏硬度（500g ŝarĝo）
晶粒大小 / Grain Size	2~10μm
纯度 / Kemia Pureco	99,99995 %
热容 / Varmo Kapacito	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Sublimiga Temperaturo	2700℃
抗弯强度 / Fleksa Forto	415 MPa RT 4-punkto
杨氏模量 / Modulo de Young	430 Gpa 4pt kurbiĝo, 1300℃
导热系数 / ThermalKondukto	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Termika Vastiĝo (CTE)	4,5×10^-6K^-1