Γιατί τα πλαϊνά τοιχώματα λυγίζουν κατά τη διάρκεια της ξηρής χάραξης;

Μη ομοιομορφία βομβαρδισμού ιόντων

Ξηρόςχαλκογραφίαείναι συνήθως μια διαδικασία που συνδυάζει φυσικά και χημικά αποτελέσματα, στην οποία ο βομβαρδισμός ιόντων είναι μια σημαντική φυσική μέθοδος χάραξης. Κατά τη διάρκεια τουδιαδικασία χάραξης, η γωνία πρόσπτωσης και η κατανομή ενέργειας των ιόντων μπορεί να είναι άνιση.

Εάν η γωνία πρόσπτωσης ιόντων είναι διαφορετική σε διαφορετικές θέσεις στο πλευρικό τοίχωμα, η επίδραση χάραξης των ιόντων στο πλευρικό τοίχωμα θα είναι επίσης διαφορετική. Σε περιοχές με μεγαλύτερες γωνίες πρόσπτωσης ιόντων, η επίδραση χάραξης των ιόντων στο πλευρικό τοίχωμα είναι ισχυρότερη, γεγονός που θα κάνει το πλευρικό τοίχωμα σε αυτήν την περιοχή να χαραχθεί περισσότερο, προκαλώντας κάμψη του πλευρικού τοιχώματος. Επιπλέον, η άνιση κατανομή της ενέργειας ιόντων θα έχει επίσης παρόμοια αποτελέσματα. Τα ιόντα με υψηλότερη ενέργεια μπορούν να αφαιρέσουν τα υλικά πιο αποτελεσματικά, με αποτέλεσμα να είναι ασυνεπήχαλκογραφίαμοίρες του πλευρικού τοιχώματος σε διαφορετικές θέσεις, το οποίο με τη σειρά του προκαλεί την κάμψη του πλευρικού τοιχώματος.

Η επίδραση του φωτοανθεκτικού

Το Photoresist παίζει το ρόλο της μάσκας στην ξηρή χάραξη, προστατεύοντας περιοχές που δεν χρειάζονται χάραξη. Ωστόσο, το φωτοανθεκτικό επηρεάζεται επίσης από βομβαρδισμό πλάσματος και χημικές αντιδράσεις κατά τη διαδικασία χάραξης και η απόδοσή του μπορεί να αλλάξει.

Εάν το πάχος του φωτοανθεκτικού είναι ανομοιόμορφο, ο ρυθμός κατανάλωσης κατά τη διαδικασία χάραξης είναι ασυνεπής ή η πρόσφυση μεταξύ του φωτοανθεκτικού και του υποστρώματος είναι διαφορετική σε διαφορετικές θέσεις, μπορεί να οδηγήσει σε ανομοιόμορφη προστασία των πλευρικών τοιχωμάτων κατά τη διαδικασία χάραξης. Για παράδειγμα, περιοχές με λεπτότερο φωτοανθεκτικό ή ασθενέστερη πρόσφυση μπορεί να κάνουν το υποκείμενο υλικό να χαράσσεται πιο εύκολα, προκαλώντας την κάμψη των πλευρικών τοιχωμάτων σε αυτές τις θέσεις.

Διαφορές στις ιδιότητες του υλικού του υποστρώματος

Το ίδιο το χαραγμένο υλικό υποστρώματος μπορεί να έχει διαφορετικές ιδιότητες, όπως διαφορετικούς προσανατολισμούς κρυστάλλων και συγκεντρώσεις ντόπινγκ σε διαφορετικές περιοχές. Αυτές οι διαφορές θα επηρεάσουν τον ρυθμό χάραξης και την επιλεκτικότητα χάραξης.
Για παράδειγμα, στο κρυσταλλικό πυρίτιο, η διάταξη των ατόμων πυριτίου σε διαφορετικούς κρυσταλλικούς προσανατολισμούς είναι διαφορετική και η αντιδραστικότητα και ο ρυθμός χάραξης τους με το αέριο χάραξης θα είναι επίσης διαφορετική. Κατά τη διαδικασία χάραξης, οι διαφορετικοί ρυθμοί χάραξης που προκαλούνται από τις διαφορές στις ιδιότητες του υλικού θα κάνουν το βάθος χάραξης των πλευρικών τοιχωμάτων σε διαφορετικές θέσεις ασυνεπές, οδηγώντας τελικά σε κάμψη του πλευρικού τοιχώματος.

Παράγοντες που σχετίζονται με τον εξοπλισμό

Η απόδοση και η κατάσταση του εξοπλισμού χάραξης έχουν επίσης σημαντικό αντίκτυπο στα αποτελέσματα χάραξης. Για παράδειγμα, προβλήματα όπως η ανομοιόμορφη κατανομή του πλάσματος στο θάλαμο αντίδρασης και η ανομοιόμορφη φθορά του ηλεκτροδίου μπορεί να οδηγήσουν σε ανομοιόμορφη κατανομή παραμέτρων όπως η πυκνότητα ιόντων και η ενέργεια στην επιφάνεια του πλάσματος κατά τη χάραξη.

Επιπλέον, ο ανομοιόμορφος έλεγχος θερμοκρασίας του εξοπλισμού και οι μικρές διακυμάνσεις στη ροή του αερίου μπορεί επίσης να επηρεάσουν την ομοιομορφία της χάραξης, οδηγώντας σε κάμψη του πλευρικού τοιχώματος.