Όπως φαίνεται παραπάνω, είναι ένα τυπικό
Το πρώτο ημίχρονο:
Στοιχείο θέρμανσης (πηνίο θέρμανσης): βρίσκεται γύρω από το σωλήνα του κλιβάνου, συνήθως κατασκευασμένο από σύρματα αντίστασης, που χρησιμοποιείται για τη θέρμανση του εσωτερικού του σωλήνα του κλιβάνου.
Quartz Tube: Ο πυρήνας ενός θερμού κλιβάνου οξείδωσης, κατασκευασμένος από χαλαζία υψηλής καθαρότητας που μπορεί να αντέξει τις υψηλές θερμοκρασίες και να παραμείνει χημικά αδρανής.
Τροφοδοσία αερίου: Βρίσκεται στο πάνω ή στο πλάι του σωλήνα του κλιβάνου και χρησιμοποιείται για τη μεταφορά οξυγόνου ή άλλων αερίων στο εσωτερικό του σωλήνα του κλιβάνου.
Φλάντζα SS: εξαρτήματα που συνδέουν σωλήνες χαλαζία και γραμμές αερίου, διασφαλίζοντας τη στεγανότητα και τη σταθερότητα της σύνδεσης.
Γραμμές τροφοδοσίας αερίου: Σωλήνες που συνδέουν το MFC με τη θύρα παροχής αερίου για μεταφορά αερίου.
MFC (Ελεγκτής μαζικής ροής): Μια συσκευή που ελέγχει τη ροή αερίου μέσα σε ένα σωλήνα χαλαζία για να ρυθμίζει με ακρίβεια την απαιτούμενη ποσότητα αερίου.
Εξαερισμός: Χρησιμοποιείται για την εξαέρωση των καυσαερίων από το εσωτερικό του σωλήνα του κλιβάνου προς το εξωτερικό του εξοπλισμού.
Κάτω μέρος
Γκοφρέτες πυριτίου σε θήκη: Οι γκοφρέτες πυριτίου στεγάζονται σε ειδική θήκη για να εξασφαλίζεται ομοιόμορφη θερμότητα κατά την οξείδωση.
Στήριγμα γκοφρέτας: Χρησιμοποιείται για να συγκρατεί τη γκοφρέτα πυριτίου και να διασφαλίζει ότι η γκοφρέτα σιλικόνης παραμένει σταθερή κατά τη διάρκεια της διαδικασίας.
Βάθρο: Μια κατασκευή που συγκρατεί μια βάση γκοφρέτας πυριτίου, συνήθως κατασκευασμένη από υλικό ανθεκτικό σε υψηλή θερμοκρασία.
Ανελκυστήρας: Χρησιμοποιείται για την ανύψωση δοχείων γκοφρέτας μέσα και έξω από σωλήνες χαλαζία για αυτόματη φόρτωση και εκφόρτωση πλακών πυριτίου.
Ρομπότ μεταφοράς γκοφρέτας: που βρίσκεται στο πλάι της συσκευής σωλήνα φούρνου, χρησιμοποιείται για την αυτόματη αφαίρεση της γκοφρέτας πυριτίου από το κουτί και την τοποθέτηση της στο σωλήνα του κλιβάνου ή για την αφαίρεση της μετά την επεξεργασία.
Καρουζέλ αποθήκευσης κασέτας: Το καρουζέλ αποθήκευσης κασέτας χρησιμοποιείται για την αποθήκευση κουτιού που περιέχει γκοφρέτες πυριτίου και μπορεί να περιστραφεί για πρόσβαση ρομπότ.
Κασέτα γκοφρέτας: η κασέτα γκοφρέτας χρησιμοποιείται για την αποθήκευση και τη μεταφορά των γκοφρετών πυριτίου προς επεξεργασία.
Ώρα δημοσίευσης: Απρ-22-2024