Η εσωτερική δομή του εξοπλισμού σωλήνων κλιβάνου εξηγείται λεπτομερώς

Όπως φαίνεται παραπάνω, είναι ένα τυπικό

Το πρώτο ημίχρονο:

▪ Θερμαντικό στοιχείο (πηνίο θέρμανσης):

που βρίσκεται γύρω από το σωλήνα του κλιβάνου, συνήθως κατασκευασμένο από σύρματα αντίστασης, που χρησιμοποιείται για τη θέρμανση του εσωτερικού του σωλήνα του κλιβάνου.

▪ Σωλήνας χαλαζία:

Ο πυρήνας ενός θερμού κλιβάνου οξείδωσης, κατασκευασμένος από χαλαζία υψηλής καθαρότητας που αντέχει σε υψηλές θερμοκρασίες και παραμένει χημικά αδρανής.

▪ Τροφοδοσία αερίου:

Βρίσκεται στο πάνω ή στο πλάι του σωλήνα του κλιβάνου και χρησιμοποιείται για τη μεταφορά οξυγόνου ή άλλων αερίων στο εσωτερικό του σωλήνα του κλιβάνου.

▪ Φλάντζα SS:

εξαρτήματα που συνδέουν σωλήνες χαλαζία και γραμμές αερίου, διασφαλίζοντας τη στεγανότητα και τη σταθερότητα της σύνδεσης.

▪ Γραμμές τροφοδοσίας αερίου:

Σωλήνες που συνδέουν το MFC με τη θύρα παροχής αερίου για μεταφορά αερίου.

▪ MFC (Ελεγκτής μαζικής ροής):

Μια συσκευή που ελέγχει τη ροή του αερίου μέσα σε ένα σωλήνα χαλαζία για να ρυθμίζει με ακρίβεια την απαιτούμενη ποσότητα αερίου.

▪ Εξαερισμός:

Χρησιμοποιείται για την εξαέρωση των καυσαερίων από το εσωτερικό του σωλήνα του κλιβάνου προς το εξωτερικό του εξοπλισμού.

Κάτω μέρος:

▪ Γκοφρέτες πυριτίου σε θήκη:

Οι γκοφρέτες πυριτίου στεγάζονται σε ειδική βάση για να εξασφαλίζεται ομοιόμορφη θερμότητα κατά την οξείδωση.

▪ Θήκη γκοφρέτας:

Χρησιμοποιείται για να συγκρατεί τη γκοφρέτα πυριτίου και να διασφαλίζει ότι η γκοφρέτα πυριτίου παραμένει σταθερή κατά τη διάρκεια της διαδικασίας.

▪ Βάθρο:

Μια δομή που κρατά μια βάση γκοφρέτας πυριτίου, συνήθως κατασκευασμένη από υλικό ανθεκτικό σε υψηλή θερμοκρασία.

▪ Ανελκυστήρας:

Χρησιμοποιείται για την ανύψωση δοχείων γκοφρέτας μέσα και έξω από σωλήνες χαλαζία για αυτόματη φόρτωση και εκφόρτωση πλακών πυριτίου.

▪ Ρομπότ μεταφοράς γκοφρέτας:

που βρίσκεται στο πλάι της συσκευής σωλήνα κλιβάνου, χρησιμοποιείται για την αυτόματη αφαίρεση της γκοφρέτας πυριτίου από το κουτί και την τοποθέτησή της στο σωλήνα του κλιβάνου ή για την αφαίρεση της μετά την επεξεργασία.

▪ Καρουζέλ αποθήκευσης κασέτας:

Το καρουζέλ αποθήκευσης κασέτας χρησιμοποιείται για την αποθήκευση ενός κουτιού που περιέχει γκοφρέτες πυριτίου και μπορεί να περιστραφεί για πρόσβαση ρομπότ.