Οι κύριες λειτουργίες τουσκάφος καρβιδίου του πυριτίουη υποστήριξη και η υποστήριξη του σκάφους χαλαζία είναι τα ίδια.Σκάφος καρβιδίου πυριτίουη υποστήριξη έχει εξαιρετική απόδοση αλλά υψηλή τιμή. Αποτελεί μια εναλλακτική σχέση με την υποστήριξη σκαφών χαλαζία σε εξοπλισμό επεξεργασίας μπαταριών με σκληρές συνθήκες εργασίας (όπως εξοπλισμός LPCVD και εξοπλισμός διάχυσης βορίου). Στον εξοπλισμό επεξεργασίας μπαταριών με συνηθισμένες συνθήκες εργασίας, λόγω των σχέσεων τιμής, η υποστήριξη σκαφών από καρβίδιο του πυριτίου και χαλαζία γίνονται συνυπάρχουσες και ανταγωνιστικές κατηγορίες.
① Σχέση υποκατάστασης σε εξοπλισμό διάχυσης LPCVD και βορίου
Ο εξοπλισμός LPCVD χρησιμοποιείται για την οξείδωση σήραγγας κυψελών μπαταρίας και τη διαδικασία προετοιμασίας του στρώματος πολυπυριτίου. Αρχή λειτουργίας:
Κάτω από ατμόσφαιρα χαμηλής πίεσης, σε συνδυασμό με κατάλληλη θερμοκρασία, επιτυγχάνεται η χημική αντίδραση και ο σχηματισμός μεμβράνης εναπόθεσης για την παρασκευή εξαιρετικά λεπτού στρώματος οξειδίου σήραγγας και μεμβράνης πολυπυριτίου. Στη διαδικασία οξείδωσης διάνοιξης και προετοιμασίας στρώσης πολυπυριτίου με πρόσμιξη, το στήριγμα του σκάφους έχει υψηλή θερμοκρασία εργασίας και μια μεμβράνη πυριτίου θα αποτεθεί στην επιφάνεια. Ο συντελεστής θερμικής διαστολής του χαλαζία είναι αρκετά διαφορετικός από αυτόν του πυριτίου. Όταν χρησιμοποιείται στην παραπάνω διαδικασία, είναι απαραίτητο να τουρσί και να αφαιρείται τακτικά το πυρίτιο που εναποτίθεται στην επιφάνεια για να αποτραπεί η θραύση του υποστηρίγματος του σκάφους χαλαζία λόγω θερμικής διαστολής και συστολής λόγω του διαφορετικού συντελεστή θερμικής διαστολής από το πυρίτιο. Λόγω του συχνού τουρσίματος και της χαμηλής αντοχής σε υψηλή θερμοκρασία, το στήριγμα σκάφους από χαλαζία έχει μικρή διάρκεια ζωής και αντικαθίσταται συχνά στη διαδικασία προετοιμασίας του στρώματος οξείδωσης της σήραγγας και ντοπαρίσματος πολυπυριτίου, γεγονός που αυξάνει σημαντικά το κόστος παραγωγής της μπαταρίας. Ο συντελεστής διαστολής τουκαρβίδιο του πυριτίουείναι κοντά σε αυτό του πυριτίου. Το ολοκληρωμένοσκάφος καρβιδίου του πυριτίουΟ συγκρατητής δεν απαιτεί τουρσί κατά τη διαδικασία προετοιμασίας της οξείδωσης της σήραγγας και του ντοπαρισμένου στρώματος πολυπυριτίου. Έχει υψηλή αντοχή σε υψηλή θερμοκρασία και μεγάλη διάρκεια ζωής. Είναι μια καλή εναλλακτική για τη θήκη σκαφών από χαλαζία.
Ο εξοπλισμός διόγκωσης βορίου χρησιμοποιείται κυρίως για τη διαδικασία ντόπινγκ στοιχείων βορίου στο υπόστρωμα πλακιδίων πυριτίου τύπου Ν της κυψέλης μπαταρίας για την προετοιμασία του εκπομπού τύπου P για να σχηματίσει μια διασταύρωση PN. Η αρχή λειτουργίας είναι να πραγματοποιηθεί η χημική αντίδραση και ο σχηματισμός μεμβράνης μοριακής εναπόθεσης σε ατμόσφαιρα υψηλής θερμοκρασίας. Αφού σχηματιστεί η μεμβράνη, μπορεί να διαχυθεί με θέρμανση σε υψηλή θερμοκρασία για να πραγματοποιηθεί η λειτουργία ντόπινγκ της επιφάνειας του πλακιδίου πυριτίου. Λόγω της υψηλής θερμοκρασίας λειτουργίας του εξοπλισμού διαστολής βορίου, η βάση βάρκας χαλαζία έχει χαμηλή αντοχή σε υψηλή θερμοκρασία και μικρή διάρκεια ζωής στον εξοπλισμό διαστολής βορίου. Το ολοκληρωμένοσκάφος καρβιδίου του πυριτίουΤο στήριγμα έχει υψηλή αντοχή σε υψηλή θερμοκρασία και είναι μια καλή εναλλακτική λύση στη βάση βάρκας χαλαζία στη διαδικασία διαστολής βορίου.
② Σχέση υποκατάστασης σε άλλο εξοπλισμό διεργασίας
Τα στηρίγματα σκαφών SiC έχουν περιορισμένη παραγωγική ικανότητα και εξαιρετική απόδοση. Η τιμολόγησή τους είναι γενικά υψηλότερη από αυτή των στηριγμάτων σκαφών χαλαζία. Σε γενικές συνθήκες εργασίας του εξοπλισμού επεξεργασίας κυψελών, η διαφορά στη διάρκεια ζωής μεταξύ των στηρίξεων σκαφών SiC και των στηρίξεων σκαφών χαλαζία είναι μικρή. Οι μεταγενέστεροι πελάτες συγκρίνουν και επιλέγουν κυρίως μεταξύ τιμής και απόδοσης με βάση τις δικές τους διαδικασίες και ανάγκες. Τα στηρίγματα σκαφών SiC και τα στηρίγματα σκαφών από χαλαζία έχουν γίνει συνυπάρχοντα και ανταγωνιστικά. Ωστόσο, το μικτό περιθώριο κέρδους των υποστηρικτών σκαφών SiC είναι σχετικά υψηλό επί του παρόντος. Με τη μείωση του κόστους παραγωγής των στηρίξεων σκαφών SiC, εάν η τιμή πώλησης των στηρίξεων σκαφών SiC μειωθεί ενεργά, θα δημιουργήσει επίσης μεγαλύτερη ανταγωνιστικότητα στα στηρίγματα σκαφών χαλαζία.
Αναλογία χρήσης
Η οδός τεχνολογίας κυψελών είναι κυρίως η τεχνολογία PERC και η τεχνολογία TOPCon. Το μερίδιο αγοράς της τεχνολογίας PERC είναι 88%, και το μερίδιο αγοράς της τεχνολογίας TOPCon είναι 8,3%. Το συνδυασμένο μερίδιο αγοράς των δύο είναι 96,30%.
Όπως φαίνεται στο παρακάτω σχήμα:
Στην τεχνολογία PERC, τα στηρίγματα σκαφών απαιτούνται για τις διαδικασίες διάχυσης και ανόπτησης φωσφόρου στο μπροστινό μέρος. Στην τεχνολογία TOPCon, τα στηρίγματα του σκάφους απαιτούνται για τις διαδικασίες εμπρόσθιας διάχυσης βορίου, LPCVD, πίσω διάχυσης φωσφόρου και ανόπτησης. Επί του παρόντος, τα στηρίγματα σκαφών καρβιδίου του πυριτίου χρησιμοποιούνται κυρίως στη διαδικασία LPCVD της τεχνολογίας TOPCon και η εφαρμογή τους στη διαδικασία διάχυσης βορίου έχει κυρίως επαληθευτεί.
Εικόνα Εφαρμογή στηρίξεων σκαφών στη διαδικασία επεξεργασίας κυψελών
Σημείωση: Μετά την μπροστινή και πίσω επίστρωση των τεχνολογιών PERC και TOPCon, εξακολουθούν να υπάρχουν σύνδεσμοι όπως μεταξοτυπία, πυροσυσσωμάτωση και δοκιμή και ταξινόμηση, που δεν περιλαμβάνουν τη χρήση στηρίξεων σκαφών και δεν αναφέρονται στο παραπάνω σχήμα.
Ώρα δημοσίευσης: Οκτ-15-2024