Welche Funktion hat ein PECVD-Graphitboot? | VET Energy

Material und Struktur des Graphitbootes

Graphitboote sind Hochtemperatur-Prozessgeräte, die üblicherweise aus hochreinem Graphitmaterial hergestellt und mit einer SiC- (Siliciumcarbid) oder TaC- (Tantalcarbid) Beschichtung versehen werden, um die Oxidationsbeständigkeit, Korrosionsbeständigkeit und Lebensdauer des gesamten Geräts zu verbessern.

In der industriellen FertigungGraphitbooteSie dienen üblicherweise als Träger für herkömmliche Siliziumwafer in Beschichtungsprozessen. Die Struktur besteht aus vielen, in einem bestimmten Abstand angeordneten Kammern. Zwischen zwei benachbarten Kammern befindet sich ein sehr schmaler Spalt, und die Siliziumwafer werden beidseitig der Öffnung platziert.

Funktionsprinzip des Graphitbootes

Da Graphit, das Material des Graphitboots, eine gute Wärme- und Wärmeleitfähigkeit aufweist, wird zwischen zwei benachbarten Booten eine Wechselspannung angelegt, um positive und negative Elektroden zu bilden. Bei einem bestimmten Luftdruck und Gasanteil in der Kammer entsteht zwischen den beiden Booten eine Glimmentladung. Diese Glimmentladung zersetzt das im Raum vorhandene SiH₄- und NH₃-Gas, wodurch Si- und N-Ionen entstehen, die sich zu SiNₓ-Molekülen verbinden und sich auf der Oberfläche ablagern.SiliziumwaferUm den Zweck der Beschichtung zu erreichen, beeinflussen Struktur und Größe des Graphitboots als Träger der Antireflexionsbeschichtung von Solarzellen direkt den Wirkungsgrad der Umwandlung und die Produktionseffizienz des Siliziumwafers.

Warum VET Energy wählen?

Als Chinas führenderPECVD-GraphitbootAls Hersteller und Lieferant verfügt VET Energy nach jahrelanger technischer Forschung und Entwicklung über fortschrittliche Produktionsanlagen, die mit denen von Toyo Tanso, SGL Carbon und Mersen vergleichbar sind, über erfahrene technische Konstrukteure und Produktionsmitarbeiter, und alle Materialien sind importierte Rohstoffe.

Die von unserem Unternehmen hergestellten Graphitboote zeichnen sich aktuell durch hohe Effizienz und präzise Struktur aus. Die optimale Anordnung der Graphitboote gewährleistet eine gleichmäßige Siliziumwafer-Beschichtung, verbessert die Qualität des Siliziumwafers in jeder Hinsicht und steigert die Solarenergieumwandlungseffizienz erheblich. Darüber hinaus kann VET Energy alle vom Markt geforderten Graphitboote entwickeln und produzieren sowie kundenspezifische Produkte und technische Dienstleistungen anbieten. Wir erfüllen somit Ihre individuellen Anforderungen an PECVD-Graphitboote.

Hochreines PECVD-Graphitboot für Solarpanel