Welche Funktion hat das PECVD-Graphitboot?

Als Träger normaler Siliziumwafer im Herstellungs- oder BeschichtungsprozessGraphitbootEs gibt viele Bootswafer mit einem bestimmten Abstand in der Struktur, und zwischen zwei benachbarten Bootswafern gibt es einen sehr engen Raum, und auf beiden Seiten der leeren Tür sind Siliziumwafer platziert.

Da Graphit, das Material des Graphitschiffchens, eine gute Leitfähigkeit und Wärmeleitfähigkeit aufweist, wird zwischen zwei benachbarten Schiffchen eine Wechselspannung angelegt, um positive und negative Elektroden zu bilden. Bei einem bestimmten Luftdruck und Gas in der Kammer kommt es zu einer Glimmentladung zwischen den beiden Schiffchen. Die Glimmentladung kann SiH4- und NH3-Gas im Raum zersetzen, Si- und N-Ionen bilden und sich zu SiNx-Molekülen verbinden. Sie werden auf der Oberfläche des Siliziumwafers abgeschieden, um den Zweck der Beschichtung zu erreichen.

Als Träger der Antireflexionsbeschichtung von Solarzellen wirken sich Struktur und Größe des Graphitschiffchens direkt auf die Umwandlungseffizienz und Produktionseffizienz von Siliziumwafern aus. Nach Jahren der technischen Forschung und Entwicklung verfügt unser Unternehmen nun über fortschrittliche Produktionsanlagen, ausgereifte Technologiedesigner und erfahrenes Produktionspersonal, und die Materialien sind importierte Rohstoffe. Gegenwärtig bietet das von unserem Unternehmen hergestellte Graphitboot die Vorteile einer hohen Effizienz. Die Struktur ist einfach und der Abstand zwischen dem Graphitboot ist angemessen, was die Beschichtung des Siliziumwafers gleichmäßig macht, die Qualität des Siliziumwafers verbessert und macht Die Effizienz der Solarenergieumwandlung ist hoch. Das Unternehmen Shijin verfügt über alle Arten von Tintenbooten, die der Markt derzeit benötigt

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Zeitpunkt der Veröffentlichung: 08.04.2021
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